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【发明授权】一种声表面波器件的仿真方法、装置、电子设备及存储介质_中国科学院上海微系统与信息技术研究所_202310355365.5 

申请/专利权人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所

申请日:2023-04-03

公开(公告)日:2024-04-12

公开(公告)号:CN116401995B

主分类号:G06F30/367

分类号:G06F30/367;G06F30/23

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.04.12#授权;2023.07.25#实质审查的生效;2023.07.07#公开

摘要:本申请实施例提供一种声表面波器件的仿真方法、装置、电子设备及存储介质,方法包括:对声表面波器件进行建模,得到声表面波器件模型;针对多个预设频率中的每个预设频率,执行:基于预设频率对核心单元模型进行解析处理,得到核心单元模型的系统矩阵方程;对系统矩阵方程中的各项参数进行分类和重排处理,得到核心单元模型的初始目标矩阵方程;基于核心单元模型的初始目标矩阵方程确定目标矩阵方程;基于目标矩阵方程确定预设频率下声表面波器件的导纳;基于声表面波器件的导纳,确定声表面波器件导纳的频率响应有限元仿真曲线。通过本申请实施例提供的一种声表面波器件的仿真方法,可以加速计算过程,并且减少计算机资源占用和仿真时间。

主权项:1.一种声表面波器件的仿真方法,其特征在于,所述方法包括:对声表面波器件进行建模,得到声表面波器件模型;所述声表面波器件模型包括至少一个核心单元模型;针对多个预设频率中的每个预设频率,执行:基于所述预设频率,利用有限元算法对所述核心单元模型进行解析处理,得到所述核心单元模型的系统矩阵方程;所述系统矩阵方程用于表征系统矩阵、预设侧面周期边界条件上的自由度矢量、其他自由度矢量与预设侧面周期边界条件上的载荷矢量、其他载荷矢量的关系;对所述核心单元模型的系统矩阵方程中的各项参数进行分类和重排处理,得到所述核心单元模型的初始目标矩阵方程;所述初始目标矩阵方程用于表征重排后系统矩阵、电学终端上的电压、悬浮电位上的电势、重排后其他自由度矢量与所述电学终端上的载荷量、所述悬浮电位上的载荷量、重排后其他载荷矢量的关系;基于所述核心单元模型的初始目标矩阵方程确定目标矩阵方程;基于所述目标矩阵方程、所述电学终端上的预设电压和所述预设频率,确定所述预设频率下所述声表面波器件的导纳;基于多个预设频率中每个预设频率下的所述声表面波器件的导纳,确定所述声表面波器件导纳的频率响应有限元仿真曲线;其中,所述基于所述预设频率,利用有限元算法对所述核心单元模型进行解析处理,得到所述核心单元模型的系统矩阵方程包括:确定所述核心单元模型的预设侧面周期边界条件;基于所述预设频率,利用有限元算法对所述核心单元模型进行网格划分和特征参数提取,得到初始系统矩阵和初始系统自由度矢量矩阵;所述初始系统自由度矢量矩阵包括所述预设侧面周期边界条件上的自由度矢量和所述其他自由度矢量;基于所述初始系统矩阵、所述初始系统自由度矢量矩阵、所述预设侧面周期边界条件上的载荷矢量和所述其他载荷矢量确定所述核心单元模型的初始系统矩阵方程;对所述初始系统矩阵方程进行矩阵运算,得到所述系统矩阵方程。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 一种声表面波器件的仿真方法、装置、电子设备及存储介质

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