申请/专利权人：应用材料公司

申请日：2019-11-01

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN112889128B

主分类号：H01J37/32

分类号：H01J37/32;C23C16/505

优先权：["20181105 US 62/755,847","20190816 US 62/888,332"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2021.11.26#实质审查的生效;2021.06.01#公开

摘要：本文描述的实施例关于磁性和电磁系统以及用于控制PECVD腔室的处理空间中产生的等离子体的密度分布以影响膜的沉积分布的方法。在一个实施例中，多个固定架设置在磁性壳体系统的旋转磁性壳体中。所述多个固定架中的每个固定架设置在所述旋转磁性壳体中，每个固定架之间的距离为d。所述多个固定架具有可移除地设置在其中的多个磁铁。当旋转磁性壳体绕圆形中心开口旋转时，所述多个磁铁经配置在圆环形路径中行进。

主权项：1.一种磁性壳体系统，包括：旋转磁性壳体，该旋转磁性壳体包含：上板；外侧壁；内侧壁，该内侧壁界定圆形中心开口；和下板；以及多个固定架，该多个固定架设置在所述旋转磁性壳体中，其中所述多个固定架中的每个固定架设置在所述旋转磁性壳体中，每个固定架之间的距离为d；每个固定架具有耦接至所述旋转磁性壳体的所述上板的上表面以及耦接至所述旋转磁性壳体的所述下板的下表面；以及所述多个固定架具有可移除地设置在其中的多个磁铁，该多个磁铁中的每个磁铁被固持在对应的固定架中，所述多个磁铁中的每个磁铁之间的间距为p，且当所述旋转磁性壳体绕所述圆形中心开口旋转时，所述多个磁铁经配置在圆环形路径中行进。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 应用材料公司 磁性壳体系统

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