申请/专利权人：润新微电子(大连)有限公司

申请日：2021-09-18

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN113702824B

主分类号：G01R31/327

分类号：G01R31/327;G01R19/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2024.03.29#著录事项变更;2021.12.14#实质审查的生效;2021.11.26#公开

摘要：本发明提供一种阈值电压为负的开关器件的阈值电压测试方法及系统。本发明方法，包括：将阈值电压为负的开关器件作为被测试器件；将被测试器件的栅源之间通过外接电阻连接，漏栅端施加偏压，量测得到漏源电流与栅源电流的总电流；基于总电流与栅源间的外接电阻计算被测器件的栅源电压或直接量测；对漏源电流与栅源电流的和与栅源电压进行拟合，取指定的漏源电流对应的栅源电压即为阈值电压。本发明通过向被测器件的漏栅端施加偏压，使其在一瞬间为导通状态，和连接电阻动态平衡，形成半导通状态，通过电阻两端电压控制栅源电压，从而控制漏源电流，形成动态平衡，通过不断切换电阻阻值，得出多组栅源电压和漏源电流进行拟合，从而得到阈值电压。

主权项：1.一种阈值电压为负的开关器件的阈值电压测试方法，其特征在于，包括：S1、将阈值电压为负的开关器件作为被测试器件；S2、将被测试器件的栅源之间通过外接电阻R0连接，漏栅端施加偏压V0，量测得到漏源电流与栅源电流的总电流I0；被测试器件为电压驱动开关器件，其栅源漏电流小，当被测试器件工作在半开启状态下漏源电流远大于栅源电流，因此量测得到的总电流约等于漏源电流；S3、基于量测得到的总电流I0与栅源间的外接电阻R0计算出栅源电压，或直接量测栅源电压；根据公式Vgs＝Ids*R计算栅源电压，其中，Vgs表示栅源电压，Ids表示漏源电流，R表示电阻，或直接量测栅源电压；所述电阻的选取方法如下：根据阈值电压所指定的漏源电流Ids及根据器件设计的典型阈值电压Vth，初步计算出连接的电阻阻值，计算公式为R＝VthIds；根据阈值电压所指定的漏源电流Ids的大一量级及小一量级分别再计算出对应的电阻，并连接到测试电路中；S4、对漏源电流与栅源电流的和与栅源电压进行拟合，取指定的漏源电流对应的栅源电压即为阈值电压。

全文数据：

权利要求：

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