申请/专利权人：中国科学院上海硅酸盐研究所

申请日：2022-05-25

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN114858061B

主分类号：G01B11/02

分类号：G01B11/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2022.08.23#实质审查的生效;2022.08.05#公开

摘要：本发明涉及一种微细压电陶瓷管径向位移的测试方法及装置，属于压电陶瓷测试技术领域。所述测试装置包括：固定支架；样品台，所述样品台安装于固定支架上；正极电压输入杆和负极电压输入杆，所述正极电压输入杆和负极电压输入杆对微细压电陶瓷管提供电压；上活动杆，所述上活动杆垂直设置于样品台的正上方，且所述上活动杆上设有连接盘；连接弹簧，所述连接弹簧连接所述固定支架和所述连接盘，使得上活动杆可以沿固定支架垂直的方向上下运动；测微仪，所述测微仪设置于所述上活动杆的正上方以检测所述上活动杆顶端的垂直上下位移量。

主权项：1.一种微细压电陶瓷管径向位移的测量方法，其特征在于，所述微细压电陶瓷管的内径≤1mm，壁厚≤0.5mm；所述微细压电陶瓷管径向位移的测量方法利用的测试装置包括：固定支架；样品台，所述样品台安装于固定支架上；正极电压输入杆和负极电压输入杆，所述正极电压输入杆和负极电压输入杆对微细压电陶瓷管提供电压；上活动杆，所述上活动杆垂直设置于样品台的正上方且所述上活动杆上设有连接盘；所述上活动杆顶端设置水平镜；连接盘紧固于上活动杆且与其同心，所述连接盘的初始位置为上活动杆的下行限制位置，所述连接盘处于初始位置时，连接弹簧处于原长状态；连接弹簧，所述连接弹簧连接所述固定支架和所述连接盘，使得上活动杆可以沿固定支架垂直的方向上下运动；测微仪，所述测微仪为设置于所述水平镜的正上方的激光干涉测微仪以与所述水平镜配合检测所述上活动杆顶端的垂直上下位移量；所述微细压电陶瓷管径向位移的测量方法包括以下步骤：将微细压电陶瓷管的内外电极引线分别与正极电压输入杆、负极电压输入杆连接；移动样品台至最低高度，将微细压电陶瓷管置于所述样品台上，向上调整样品台高度使得微细压电陶瓷管与上活动杆的下水平端面接触，并且与上活动杆连接的弹簧处于压缩状态；开启测微仪，调整光路使其满足测试条件并初始化；向正极电压输入杆、负极电压输入杆施加一定波形、频率、幅值的电压；利用测微仪测量所述上活动杆顶端的垂直位移ΔL，计算得到微细压电陶瓷管表面的径向位移s＝ΔL2。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院上海硅酸盐研究所 一种微细压电陶瓷管径向位移的测试方法及装置

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