申请/专利权人：宁波安泰环境化工工程设计有限公司

申请日：2022-08-23

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN115318054B

主分类号：B01D53/00

分类号：B01D53/00;B01D53/86;B01D53/58;F23G7/07

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2022.11.29#实质审查的生效;2022.11.11#公开

摘要：本发明提供了一种电子特气废气处理系统，该电子特气废气处理系统包括废气输送管道、预热器、催化反应器、氧化器，该电子特气废气处理系统通过废气输送管道将废气送至预热器中预热，将预热好的废气输送至催化反应器中，在催化反应器中硅烷高温分解为硅灰和氢气，氨气催化分解为氮气和氢气，分解产物被输送至氧化器，在氧化器中氢气与氧气燃烧生成大量高温水蒸气，水蒸气作为热介质进入预热器与冷介质废气换热后通过预热器热介质出口排出。本发明催化反应器分解废气，并利用分解产物燃烧产生的热能来预热废气，实现对电子特气废气的低能耗无害化处理，节约了处理成本。

主权项：1.一种电子特气废气处理系统，其特征在于，包括：废气输送管道1；预热器2，用于预热废气，所述预热器2包括热介质进口、热介质出口、冷介质进口和冷介质出口，所述废气输送管道1与所述冷介质进口连接；催化反应器3，所述催化反应器3包括加热腔室9和催化分解室10，所述加热腔室9用于分解硅烷，所述催化分解室10用于分解氨气，所述催化反应器3的进气口与所述冷介质出口连接，所述催化反应器3包括保温层42，所述加热腔室9设置在所述保温层42内，所述加热腔室9内设有分隔壳体，所述分隔壳体内形成所述催化分解室10，所述催化反应器3的进气口与所述加热腔室9连接，所述分隔壳体的底部具有气体通道15，所述加热腔室9底部设有集灰室14，所述催化分解室10内设有Ni催化剂；氧化器4，用于氢气燃烧，所述氧化器4的出气口与所述热介质进口连接，所述氧化器4的进气口设有燃烧器6，所述燃烧器6与所述催化反应器3的出气口连接，所述氧化器4包括保温壳41，所述保温壳41内形成氧化室16，所述燃烧器6与氧气管道18连接。

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权利要求：

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