申请/专利权人：迈为技术(珠海)有限公司

申请日：2023-11-02

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117174624B

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/52;H01L21/677

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2023.12.22#实质审查的生效;2023.12.05#公开

摘要：本发明公开一种键合设备及键合方法，其中，键合设备包括机体、预键合机、键合机、搬运机；机体具有预键合腔和键合腔；预键合腔内设有预键合机，键合腔有多个并沿着预键合腔周向依次布设，各键合腔内均设有键合机，预键合机与键合机之间均设有搬运机；搬运机包括基座、转动式安装于基座上的摆臂、安装于基座并与摆臂传动连接的驱动器，以及设于摆臂上的多个支撑座；预键合机、键合机均位于摆臂的移动路径上。本发明通过设置预键合腔进行预键合和多个键合腔进行键合，减少键合片在预键合后进行键合的等待时间，可以提高晶圆键合的效率，提高键合设备的产能。

主权项：1.一种键合设备，其特征在于，包括机体11、预键合机12、键合机13、搬运机14；所述机体11具有预键合腔111和键合腔112；所述预键合腔111内设有所述预键合机12，所述键合腔112有多个并沿着所述预键合腔111周向依次布设，各所述键合腔112内均设有所述键合机13，所述预键合机12与所述键合机13之间均设有所述搬运机14；所述搬运机14包括基座141、转动式安装于所述基座141上的摆臂142、安装于所述基座141并与所述摆臂142传动连接的驱动器，以及设于所述摆臂142上的多个支撑座143；所述预键合机12、所述键合机13均位于所述摆臂142的移动路径上；所述摆臂142形成有避让槽1421，多个所述支撑座143间隔布设于所述摆臂142上并位于所述摆臂142的下方；所述摆臂142包括转动板1422和圆弧条1423；所述转动板1422转动式安装在所述基座141上并与所述驱动器传动连接，所述圆弧条1423的一端安装在所述转动板1422上，所述圆弧条1423的内圆周侧面围合形成所述避让槽1421，多个所述支撑座143沿着所述圆弧条1423的圆心周向间隔布设；所述驱动器和所述摆臂142有两个且一一对应，两个所述圆弧条1423沿着竖直方向依次布设，两个所述圆弧条1423的内圆周侧面相对设置或相互背离。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 迈为技术(珠海)有限公司 一种键合设备及键合方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD