申请/专利权人：苏州普耀光电材料有限公司

申请日：2019-01-31

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN109852948B

主分类号：C23C16/448

分类号：C23C16/448

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2019.07.02#实质审查的生效;2019.06.07#公开

摘要：本发明公开了一种MO源供应装置，包括液体MO源储存罐、固体MO源储存罐和有机溶剂吸附柱，所述固体MO源储存罐的进气口处连接有一高纯载气进气管，固体MO源储存罐的出气口处连接有一高纯载气出气管，该高纯载气出气管的出气端从液体MO源储存罐的左侧插入到液体MO源储存罐的底部，液体MO源储存罐的右侧出口连接有一MO源供给管，该MO源供给管的出口与一有机溶剂吸附柱连接，有机溶剂吸附柱的出口连接MO源钢瓶，所述固体MO源储存罐中储存有固体MO源，所述液体MO源储存罐中储存有溶解于有机溶剂的MO源。本发明将液体MO源储存罐和固体MO源储存罐结合，保证充入MO源钢瓶内的MO源浓度，并且可以有效去除MO源中的有机溶剂。

主权项：1.一种MO源供应装置，其特征在于：包括液体MO源储存罐、固体MO源储存罐和有机溶剂吸附柱，所述固体MO源储存罐的进气口处连接有一高纯载气进气管，固体MO源储存罐的出气口处连接有一高纯载气出气管，该高纯载气出气管的出气端从液体MO源储存罐的左侧插入到液体MO源储存罐的底部，液体MO源储存罐的右侧出口连接有一MO源供给管，该MO源供给管的出口与一有机溶剂吸附柱连接，有机溶剂吸附柱的出口通过管路连接MO源钢瓶，所述固体MO源储存罐中储存有固体MO源，所述液体MO源储存罐中储存有溶解于有机溶剂的MO源，固体MO源储存罐为液体MO源储存罐补充MO源，有机溶剂吸附柱中设有用于吸附有机溶剂的填充物。

全文数据：一种MO源供应装置技术领域本发明涉及一种MO源供应装置。背景技术MO源即高纯金属有机化合物，是先进的金属有机化学气相沉积简称MOCVD、金属有机分子束外延简称MOMBE等技术生长半导体微结构材料的支撑材料。由于MO源产品要求纯度极高，而绝大多数MO源化合物对氧气、水汽极其敏感，遇空气可发生自燃，遇水可发生爆炸，且毒性大，所以MO源的研制是集极端条件下的合成制备、超纯纯化、超纯分析、超纯灌装等于一体的高新技术。MO源需要储存在一个对洁净度、密封性具有较高要求的惰性气体保护的容器罐即MO源灌装容器中。目前，MO源的包装一般采用钢瓶盛装。在使用时，通过MO源钢瓶来供给MOCVD等设备。为MO源钢瓶充装供应MO源时，MO源钢瓶内的MO源浓度受到许多因素的影响。比如，固体MO源在储存罐中的晶型尺寸、堆积度和物料高度等因素均会影响最终MO源钢瓶中的MO源浓度。如果仅采用液体MO源，长时间的使用后，MO源浓度也会受到影响。发明内容为解决上述技术问题，本发明的目的在于提供一种MO源供应装置，将液体MO源储存罐和固体MO源储存罐结合，保证充入MO源钢瓶内的MO源浓度，并且有效去除MO源中的有机溶剂。为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本发明通过以下技术方案实现：一种MO源供应装置，包括液体MO源储存罐、固体MO源储存罐和有机溶剂吸附柱，所述固体MO源储存罐的进气口处连接有一高纯载气进气管，固体MO源储存罐的出气口处连接有一高纯载气出气管，该高纯载气出气管的出气端从液体MO源储存罐的左侧插入到液体MO源储存罐的底部，液体MO源储存罐的右侧出口连接有一MO源供给管，该MO源供给管的出口与一有机溶剂吸附柱连接，有机溶剂吸附柱的出口通过管路连接MO源钢瓶，所述固体MO源储存罐中储存有固体MO源，所述液体MO源储存罐中储存有溶解于有机溶剂的MO源，固体MO源储存罐为液体MO源储存罐补充MO源，有机溶剂吸附柱中设有用于吸附有机溶剂的填充物。进一步的，所述高纯载气进气管、高纯载气出气管和MO源供给管上均设有控制阀。进一步的，有机溶剂吸附柱出口处的管路上也设有控制阀。进一步的，所述高纯载气进气管的出气端位于固体MO源储存罐的上部。进一步的，所述MO源钢瓶的数量为多个，且该多个MO源钢瓶为串联连接。进一步的，所述有机溶剂的沸点为1300℃。本发明的有益效果是：本发明中的液体MO源储存罐中储存溶解在有机溶剂中的MO源，固体MO源储存罐中储存固体MO源，将液体MO源储存罐和固体MO源储存罐结合，采用液体MO源作为直接供应MO源钢瓶的来源，可以避免固体MO源作为直接供应来源由于晶型尺寸、堆积度和物料高度等因素所带来的浓度影响，而将固体MO源储存罐作为液体MO源储存罐的补充来源，及时补入固体MO源，使固体MO源溶解于液体MO源储存罐中的有机溶剂中，保证液体MO源储存罐中的MO源浓度，从而保证MO源钢瓶的MO源浓度。有机溶剂吸附柱可以吸附供应的MO源中的有机溶剂，保证MO源的纯净度。附图说明图1为本发明MO源供应装置的结构示意图。具体实施方式下面结合附图对本发明的较佳实施例进行详细阐述，以使本发明的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本发明的保护范围做出更为清楚明确的界定。如图1所示，一种MO源供应装置，包括液体MO源储存罐1、固体MO源储存罐2和有机溶剂吸附柱3。固体MO源储存罐1的进气口处连接有一高纯载气进气管4，高纯载气进气管4的出气端位于固体MO源储存罐2内的上部。固体MO源储存罐2的出气口处连接有一高纯载气出气管5，该高纯载气出气管5的出气端从液体MO源储存罐1的左侧插入到液体MO源储存罐1的底部。液体MO源储存罐1的右侧出口连接有一MO源供给管6，该MO源供给管6的出口与一有机溶剂吸附柱3连接，有机溶剂吸附柱3的出口通过管路连接MO源钢瓶。固体MO源储存罐2中储存有固体MO源，液体MO源储存罐1中储存有溶解于有机溶剂的MO源，固体MO源储存罐2为液体MO源储存罐1补充MO源，有机溶剂吸附柱3中设有用于吸附有机溶剂的填充物。固体MO源储存罐2和液体MO源储存罐1的底部均设置有恒温水浴槽。高纯载气进气管4、高纯载气出气管5和MO源供给管6上均设有控制阀7。有机溶剂吸附柱3出口处的管路上也设有控制阀7。进一步说，MO源钢瓶的数量为多个，且该多个MO源钢瓶为串联连接。进一步说，所述有机溶剂的沸点为1300℃。工作时，打开所有的控制阀7，从高纯载气进气管4充入高纯氮气，高纯氮气进入固体MO源储存罐2，在恒温水浴的作用下，固体MO源随着高纯氮气经过高纯载气出气管5进入液体MO源储存罐1内，溶解于液体MO源储存罐1的有机溶剂内。在恒温水浴的作用下，液体MO源汽化，转化为MO源蒸汽，而有机溶剂沸点高，不会被汽化，从而MO源蒸汽随着高纯氮气进入MO源供给管6，最终进入有机溶剂吸附柱3内，有机溶剂吸附柱3可以吸附MO源中携带的少量有机溶剂，经过净化后的MO源最终进入MO源钢瓶内。利用本发明，将液体MO源储存罐1和固体MO源储存罐2结合，采用液体MO源作为直接供应MO源钢瓶的来源，可以避免固体MO源作为直接供应来源由于晶型尺寸、堆积度和物料高度等因素所带来的浓度影响，而将固体MO源储存罐1作为液体MO源储存罐1的补充来源，及时补入固体MO源，使固体MO源溶解于液体MO源储存罐1中的有机溶剂中，长时间使用后，仍能保证液体MO源储存罐1中的MO源浓度，从而保证MO源钢瓶的MO源浓度。以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。

权利要求：1.一种MO源供应装置，其特征在于：包括液体MO源储存罐、固体MO源储存罐和有机溶剂吸附柱，所述固体MO源储存罐的进气口处连接有一高纯载气进气管，固体MO源储存罐的出气口处连接有一高纯载气出气管，该高纯载气出气管的出气端从液体MO源储存罐的左侧插入到液体MO源储存罐的底部，液体MO源储存罐的右侧出口连接有一MO源供给管，该MO源供给管的出口与一有机溶剂吸附柱连接，有机溶剂吸附柱的出口通过管路连接MO源钢瓶，所述固体MO源储存罐中储存有固体MO源，所述液体MO源储存罐中储存有溶解于有机溶剂的MO源，固体MO源储存罐为液体MO源储存罐补充MO源，有机溶剂吸附柱中设有用于吸附有机溶剂的填充物。2.根据权利要求1所述的一种MO源供应装置，其特征在于：所述高纯载气进气管、高纯载气出气管和MO源供给管上均设有控制阀。3.根据权利要求1所述的一种MO源供应装置，其特征在于：有机溶剂吸附柱出口处的管路上也设有控制阀。4.根据权利要求1所述的一种MO源供应装置，其特征在于：所述高纯载气进气管的出气端位于固体MO源储存罐内的上部。5.根据权利要求1所述的一种MO源供应装置，其特征在于：所述MO源钢瓶的数量为多个，且该多个MO源钢瓶为串联连接。6.根据权利要求1所述的一种MO源供应装置，其特征在于：所述有机溶剂的沸点为1300℃。

百度查询： 苏州普耀光电材料有限公司 一种MO源供应装置

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