申请/专利权人：江苏理工学院

申请日：2024-01-09

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117897041A

主分类号：H10N70/00

分类号：H10N70/00;H10N70/20;H10B63/10;B82Y10/00;B82Y30/00;B82Y40/00

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.16#公开

摘要：本申请实施例涉及一种高稳定性低功耗Mo‑Te‑Sb纳米相变薄膜及其制备方法与应用，属于微电子相变材料技术领域。本申请实施例的高稳定性低功耗Mo‑Te‑Sb纳米相变薄膜，所述纳米相变薄膜的化学通式为MoTe2xSby，其中，x表示MoTe2的原子个数，且0＜x＜1；y表示Sb的原子个数，且0＜y＜1。本申请实施例所提供的纳米相变薄膜，基于Sb金属靶材上放置不同MoTe2金属靶材的数量配比，MoTe2组分比例的增加阻碍了载流子的定向移动，加大了晶化的障碍，使得薄膜拥有更好的热稳定性和更小的电阻漂移指数。

主权项：1.一种高稳定性低功耗Mo-Te-Sb纳米相变薄膜，其特征在于，所述纳米相变薄膜的化学通式为MoTe2xSby，其中，x表示MoTe2的原子个数，且0＜x＜1；y表示Sb的原子个数，且0＜y＜1。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏理工学院 一种高稳定性低功耗Mo-Te-Sb纳米相变薄膜及其制备方法与应用

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