申请/专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司

申请日：2019-09-27

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN110967940B

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20

优先权：["20180928 US 62/738,893","20190911 US 16/568,044"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2021.03.19#实质审查的生效;2020.04.07#公开

摘要：揭露了一种用于极紫外EUV辐射源的数据匹配模块控制反馈系统的方法。方法包括获得狭缝整合能量SLIE感测器数据及绕射光学元件DOE数据。方法通过数据匹配模块执行SLIE感测器数据及DOE数据的时间差的数据匹配，以识别SLIE感测器数据及DOE数据的不匹配集合。方法亦决定不匹配集合的SLIE感测器数据及DOE数据的时间差是否在可接受的范围内。基于此决定，方法自动地验证不匹配集合的可配置数据，使得不匹配集合的SLIE感测器数据对反射率计算有效。

主权项：1.一种计算用于一极紫外EUV辐射源的一收集器的一反射率的方法，其特征在于，该方法包含：获得一第一感测器的一时间序列数据及一第二感测器的一时间序列数据；识别在该第一感测器的该时间序列数据中的数个数据点，针对该第一感测器的该时间序列数据中所述数据点的数个时间戳记与针对在该第二感测器的该时间序列数据中的对应的数个数据点的数个时间戳记匹配；回应于在所述时间戳记之间的不匹配，识别在该第一感测器的该时间序列数据中的所述数据点与在该第二感测器的该时间序列数据中的所述数据点，对此在该第一感测器的该时间序列数据中的所述数据点的所述时间戳记与在该第二感测器的该时间系列数据中的所述时间点的所述时间戳记的最小差值小于一预定值；以及使用在该第一感测器的该时间序列数据中识别的所述数据点来计算该收集器的该反射率。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 台湾积体电路制造股份有限公司 极紫外辐射源的数据匹配模块控制反馈系统的方法及装置

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