申请/专利权人：三星显示有限公司;慧因思有限公司

申请日：2023-08-04

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN220773415U

主分类号：G03F1/84

分类号：G03F1/84;G03F1/26;G03F1/36

优先权：["20220805 KR 10-2022-0097829"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权

摘要：提供了光掩模检查设备。光掩模检查设备包括：支承检查衬底的台；具有第一数值孔径并且设置在检查衬底的一侧处的第一光学系统；具有第二数值孔径、与第一光学系统间隔开并且设置在检查衬底的一侧处的第二光学系统；包括第一物镜、第二物镜，并且设置在检查衬底的与检查衬底的一侧相对的另一侧处的成像光学系统，第一物镜在检查衬底设置在第一物镜与第一光学系统之间的情况下与第一光学系统对准，第二物镜在检查衬底设置在第二物镜与第二光学系统之间的情况下与第二光学系统对准；以及捕获通过了成像光学系统的图像的相机。

主权项：1.一种光掩模检查设备，其特征在于，包括：台，支承检查衬底；第一光学系统，具有第一数值孔径，并且设置在所述检查衬底的一侧处；第二光学系统，具有第二数值孔径，与所述第一光学系统间隔开，并且设置在所述检查衬底的所述一侧处；成像光学系统，包括第一物镜、第二物镜，并且设置在所述检查衬底的与所述检查衬底的所述一侧相对的另一侧处，所述第一物镜在所述检查衬底设置在所述第一物镜与所述第一光学系统之间的情况下与所述第一光学系统对准，所述第二物镜在所述检查衬底设置在所述第二物镜与所述第二光学系统之间的情况下与所述第二光学系统对准；以及相机，捕获通过了所述成像光学系统的图像。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 三星显示有限公司;慧因思有限公司 光掩模检查设备

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