申请/专利权人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司

申请日：2023-08-30

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN220774314U

主分类号：H01L21/673

分类号：H01L21/673;H01L21/22;H01L21/67;H01L31/18

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权

摘要：本实用新型公开了一种工艺载具及硼扩散设备。其包括支撑件和支撑杆，至少三个支撑杆设置于相邻的两个支撑件之间以限定出放置空间，工艺载具具有至少一个放置空间，放置空间内能够排列放置硅片。支撑件具有承重曲面，承重曲面的直径与炉管的内径相同，且当工艺载具置于炉管内时，承重曲面贴合抵接于炉管的内壁，能够形成面接触，从而将工艺载具以及硅片的重量通过每个支撑件的承重曲面均匀地施加于炉管的内壁，既能够防止炉管的局部破碎，也能够避免工艺载具及硅片发生倾倒，降低了实现软着陆工艺的难度，提高了炉内的温度和气流的均匀性，有利于提升整炉硅片表面掺杂层的均匀性和一致性。

主权项：1.工艺载具，所述工艺载具能够放置于炉管100内，其特征在于，所述工艺载具包括至少两个支撑件和至少三个支撑杆2，其中：至少两个所述支撑件沿所述炉管100的轴线方向排列设置，至少三个所述支撑杆2设置于相邻的两个所述支撑件之间以限定出放置空间，所述工艺载具具有至少一个所述放置空间，所述放置空间内能够排列放置硅片；所述支撑件具有承重曲面11，当所述工艺载具置于所述炉管100内时，所述承重曲面11贴合抵接于所述炉管100的内壁。

全文数据：

权利要求：

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