申请/专利权人：上海积塔半导体有限公司

申请日：2023-09-01

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN220774280U

主分类号：H01J37/32

分类号：H01J37/32;H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权

摘要：本实用新型提供了一种离子注入机的水管导向装置以及离子注入机，所述装置包括：固定件，所述固定件与所述离子注入机的机身上的轴筒固定连接；固定轴，所述固定轴的端面与所述固定件相连；至少一轴承，所述轴承套设固定在所述固定轴外侧；以及外壳体，所述外壳体套设固定在所述轴承外侧且与所述固定轴共轴线，所述外壳体能够通过所述轴承相对于所述固定轴绕着共有的轴线进行转动，所述外壳体用于承托从所述离子注入机中引出的水管。上述技术方案通过在机身上设置离子注入机水管导向装置，所述外壳体借助轴承可转动地设置在固定轴外侧，机身的运动会带动水管的移动，可转动的外壳体与水管相接触，将摩擦力转换成滚动摩擦，极大程度降低了水管的损耗。

主权项：1.一种离子注入机的水管导向装置，其特征在于，包括：固定件，所述固定件与所述离子注入机的机身上的轴筒固定连接；固定轴，所述固定轴的端面与所述固定件相连；至少一轴承，所述轴承套设固定在所述固定轴外侧；以及外壳体，所述外壳体套设固定在所述轴承外侧且与所述固定轴共轴线，所述外壳体能够通过所述轴承相对于所述固定轴绕着共有的轴线进行转动，所述外壳体用于承托从所述离子注入机中引出的水管。

全文数据：

权利要求：

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