申请/专利权人：拉普拉斯(西安)科技有限责任公司

申请日：2024-03-15

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN220774397U

主分类号：H01L31/18

分类号：H01L31/18;H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权

摘要：本申请属于太阳能电池制造技术领域，涉及一种光注入退火设备，该光注入退火设备包括工艺腔、温控组件、灯源组件以及进气组件，温控组件安装于工艺腔；灯源组件安装于温控组件上方；进气组件至少部分位于工艺腔内，且进气组件位于工艺腔内的部分开设有气孔，进气组件被配置为通过气孔向工艺腔内通入工艺气体。该光注入退火设备不仅能够在对太阳能电池片进行光照的同时，通过进气组件向工艺腔内通入工艺气体，以提高太能电池片的钝化效果，还能够通过温控组件，实现对太阳能电池片温度的控制调节，保证太阳能电池片始终处于较佳的工艺温度。

主权项：1.一种光注入退火设备，其特征在于，所述光注入退火设备包括：工艺腔；温控组件，所述温控组件安装于所述工艺腔；所述温控组件被配置为承载目标物，并对所述目标物所处的环境进行加热或冷却；灯源组件，所述灯源组件安装于所述温控组件上方，用于照射所述目标物；进气组件，所述进气组件至少部分位于所述工艺腔内，且所述进气组件位于所述工艺腔内的部分开设有气孔，所述进气组件被配置为通过所述气孔向所述工艺腔内通入工艺气体。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 拉普拉斯(西安)科技有限责任公司 光注入退火设备

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD