申请/专利权人：江苏米格新材料股份有限公司

申请日：2023-09-04

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN220767156U

主分类号：C23C16/44

分类号：C23C16/44;C23C16/26;C23C16/455

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权

摘要：本申请属于沉积炉结构技术领域，具体涉及一种气相沉积装置，包括沉积室、升降机构和进气排焦机构；沉积室内部具有空腔结构，空腔结构的底部具有开口，升降机构的顶部与沉积室的底部开口匹配、且组成反应场所；升降机构内置气道，气道外接气源、且直接作用在待沉积产品的底部；沉积室的空腔结构的顶部具有与其连通的排气腔室，排气腔室与进气排焦机构连接，进气排焦机构用于回收沉积室内沉积反应后的气体、并将过滤焦油的气体输送至沉积室内部使用。本申请实现沉积反应后的气体循环利用，节约能源，防止沉积室内部结构热变形，提高了气相沉积装置结构稳定性、产品装卸的便捷、反应场所内部温度均匀性、气相沉积均匀性和焦油收集处理的可靠性。

主权项：1.一种气相沉积装置，包括沉积室1、升降机构2和进气排焦机构3；其特征在于，沉积室1内部具有空腔结构，空腔结构的底部具有开口，升降机构2位于沉积室1的下方，升降机构2的顶部具有放置产品的平台；升降机构2能够在第一位置和第二位置之间切换；升降机构2在第一位置时，升降机构2的顶部与沉积室1组成反应场所、其顶部放置的产品位于沉积室1的空腔结构内；升降机构2在第二位置时，升降机构2将气相沉积后的产品运送至下一工序；升降机构2内置气道、且气道外接气源，升降机构2的气道贯通升降机构2的顶部，用于将气体直接作用在待沉积产品的底部；沉积室1的空腔结构的顶部具有与其连通的排气腔室，排气腔室与进气排焦机构3连接，进气排焦机构3用于回收沉积室1内沉积反应后的气体、并将过滤焦油的气体输送至沉积室1内部使用；沉积室1具有均布的加热装置，产品位于沉积室1的加热装置之间。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏米格新材料股份有限公司 一种气相沉积装置

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