申请/专利权人:清电硅业有限公司
申请日:2023-09-21
公开(公告)日:2024-04-12
公开(公告)号:CN220767238U
主分类号:C30B15/00
分类号:C30B15/00;C30B29/06
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.12#授权
摘要:本申请涉及一种热屏外胆、热场组件及单晶炉,其中热屏外胆,应用于单晶炉的热场组件上,其主体结构为筒形结构,主体结构靠近热场组件的一端形成晶体过孔,晶体过孔的圆心与主体结构的轴线重合;功能层区连接在主体结构的周外侧,功能层区至少包括远离主体结构的耐高温层。主体结构的筒形结构设计能够满足对位于热场组件上方的坩埚进行遮挡,以达到坩埚上方的保温效果,耐高温层的设置,能够避免热量完全传递至主体结构中,耐高温层不会发生物理或者化学变化,其形态能够有效的包裹住内部的主体结构,避免产生粉化的影响。本申请有效地解决了现有技术中的热屏外胆位于热场中容易出现粉化,影响单晶炉拉晶质量的问题。
主权项:1.一种热屏外胆,应用于单晶炉的热场组件上,其特征在于,包括:主体结构10,所述主体结构10为筒形结构,沿靠近所述热场组件的方向,所述主体结构10的筒壁沿靠近其轴线方向倾斜,所述主体结构10靠近所述热场组件的一端形成晶体过孔11,所述晶体过孔11为圆形通孔,所述晶体过孔11的圆心与所述主体结构10的轴线重合;功能层区20,所述功能层区20连接在所述主体结构10的周外侧,所述功能层区20至少包括远离所述主体结构10的耐高温层。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 清电硅业有限公司 热屏外胆、热场组件及单晶炉
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