申请/专利权人：南方科技大学

申请日：2023-08-04

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN220774294U

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;G01N1/34;B08B3/08;H01L21/677

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权

摘要：本申请涉及一种样品清洗装置及半导体设备，所述样品清洗装置包括清洗组件及清洗台，所述清洗组件包括装载盘及操作杆，所述操作杆设于所述装载盘上方，所述装载盘用于装载样品；所述清洗台包括箱体与盖体，所述箱体开设有清洗池，所述清洗池用于盛放清洗液，所述清洗液用于清洗所述样品；所述盖体盖设于所述清洗池上方，所述盖体的侧周面开设有进料槽，所述盖体的顶面开设有与所述进料槽连通的导向槽，所述导向槽用于供所述操作杆通过，所述进料槽用于供所述装载盘通过。盖体可以避免清洗池内的清洗液溅出，还可以防止非专业人员误操作而将手部伸入池内，亦或是防止非专业人员将清洗池内的清洗液误盛出，提升了该样品清洗装置使用时的安全系数。

主权项：1.一种样品清洗装置，其特征在于，包括：清洗组件，所述清洗组件包括装载盘及操作杆，所述操作杆设于所述装载盘上方，所述装载盘用于装载样品；及清洗台，所述清洗台包括箱体与盖体，所述箱体开设有清洗池，所述清洗池用于盛放清洗液，所述清洗液用于清洗所述样品；所述盖体盖设于所述清洗池上方，所述盖体的侧周面开设有进料槽，所述盖体的顶面开设有与所述进料槽连通的导向槽，所述导向槽用于供所述操作杆通过，所述进料槽用于供所述装载盘通过。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南方科技大学 样品清洗装置及半导体设备

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