申请/专利权人：晶科能源股份有限公司;四川晶科能源有限公司

申请日：2023-09-11

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN220767237U

主分类号：C30B15/00

分类号：C30B15/00;C30B15/20;C30B27/02;C30B29/06

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权

摘要：本申请涉及一种单晶炉系统，包括炉台装置、循环管道、冷却装置、抽气装置和检测模块。炉台装置具有进气口和第一出气口，循环管道一端连通进气口，另一端连通第一出气口，冷却装置设于炉台装置外，抽气装置设于循环管道上，抽气装置用于抽出炉台装置内的气体，以使气体被冷却装置冷却后再从循环管道流回至炉台装置内，使得可从进气口向炉内额外通入气体，从而有较多的气体在循环管道内流动参与冷却，因此能够达到更好的冷却效果。检测模块设于冷却装置内，包括气体温度检测器，用于检测循环管道内气体的温度，使得工作人员能实时获知炉内的冷却温度，以精确控制拆炉的时机，无需通过经验判断拆炉的时间，如此能够避免在拆炉过程中发生危险。

主权项：1.一种单晶炉系统，其特征在于，包括：炉台装置100，具有相互连通的进气口101和第一出气口102；循环管道200，一端连通所述进气口101，另一端连通所述第一出气口102；冷却装置300，设于所述炉台装置100外，所述冷却装置300用于冷却从所述炉台装置100内排出的气体；抽气装置400，设于所述循环管道200中，所述抽气装置400用于抽出所述炉台装置100内的所述气体，以使所述气体被所述冷却装置300冷却后，再从所述循环管道200流回至所述炉台装置100内；检测模块，设于所述冷却装置300内，所述检测模块包括气体温度检测器，所述气体温度检测器用于检测所述循环管道200内气体的温度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 晶科能源股份有限公司;四川晶科能源有限公司 单晶炉系统

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