申请/专利权人：成都国泰真空设备有限公司

申请日：2024-01-05

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN117510089B

主分类号：C03C15/00

分类号：C03C15/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权;2024.02.27#实质审查的生效;2024.02.06#公开

摘要：本发明属于离子刻蚀设备技术领域，公开了一种用于玻璃表面处理的离子束刻蚀设备，包括一工作腔室，工作腔室连接有用于使其保持真空状态的真空系统，且工作腔室内设有离子源，离子源连接有用于为离子源提供至少一种刻蚀气体的充气系统，以通过离子源对刻蚀气体电离而形成刻蚀用的离子束；所述工作腔室内还设有多轴向移动机构，多轴向移动机构具有驱动端且通过驱动端连接有对应于所述离子源的固定板，固定板用于安装待刻蚀的目标玻璃。本发明能够便于在真空系统提供的真空条件下通过离子源进行目标玻璃的刻蚀作业，并且目标玻璃通过多轴向移动机构能够对大尺寸玻璃的实现均匀刻蚀，适用范围更大，刻蚀效果更好。

主权项：1.一种用于玻璃表面处理的离子束刻蚀设备，其特征在于：包括一工作腔室（11），工作腔室（11）连接有用于使其保持真空状态的真空系统（2），且工作腔室（11）内设有离子源（4），离子源（4）连接有用于为离子源（4）提供至少一种刻蚀气体的充气系统（3），以通过离子源（4）对刻蚀气体电离而形成刻蚀用的离子束；所述工作腔室（11）内还设有多轴向移动机构（5），多轴向移动机构（5）具有驱动端且通过驱动端连接有对应于所述离子源（4）的固定板（510），固定板（510）用于安装待刻蚀的目标玻璃（6）；所述多轴向移动机构包括沿X轴方向铺设于所述工作腔室（11）内的第一导轨（51），第一导轨（51）滑动连接有第一滑座（53），第一滑座（53）上滑动连接有能够沿Y方向轴移动的第二滑座（55），第二滑座（55）上滑动连接有能够沿X轴方向移动的第三滑座（57），第三滑座（57）上设有立架（58），立架（58）滑动连接能够沿Z轴移动的所述固定板（510）；其中，所述第一滑座（53）与第二滑座（55）之间设有用于驱使第二滑座（55）沿Y轴移动的第一驱动组件（54），所述第二滑座（55）与第三滑座（57）之间设有用于驱使第三滑座（57）沿X轴方向移动的微调驱动组件（56），所述固定板（510）与所述立架（58）之间设有驱使固定板（510）沿Z轴移动的第二驱动组件（59）；所述第一驱动组件（54）包括转动安装于所述第一滑座（53）的第一丝杆（542），第一丝杆（542）套设有与所述第二滑座（55）连接的第一螺纹传动套（543），且第一螺纹传动套（543）与第一丝杆（542）螺纹配合；所述第一丝杆（542）的一端连接有手轮（541）；所述第二驱动组件（59）包括转动安装于所述立架（58）的第二丝杆（595），第二丝杆（595）螺纹套接有与所述固定板（510）连接的第二螺纹传动套（596），且第二丝杆（595）的底端连接有第一伞型齿轮（594），第一伞型齿轮（594）啮合有与第二伞型齿轮（593），第二伞型齿轮（593）同轴连接有第二传动杆（592），第二传动杆（592）与一第二驱动电机（591）的输出轴连接；所述第一导轨（51）与所述第一滑座（53）之间还设有用于使第一滑座（53）沿X方向移动的第四驱动组件（52）；对大尺寸玻璃实现均匀刻蚀；所述微调驱动组件（56）包括转动安装于所述第二滑座（55）的第三丝杆（565），第三丝杆（565）螺纹套接有与所述第三滑座（57）连接的第三螺纹传动套，且第三丝杆（565）的一端通过连接有第三伞型齿轮（564），第三伞型齿轮（564）啮合有第四伞型齿轮（563），第四伞型齿轮（563）连接有第三传动杆（562），第三传动杆（562）与一第三驱动电机（561）连接。

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权利要求：

百度查询： 成都国泰真空设备有限公司 一种用于玻璃表面处理的离子束刻蚀设备

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