申请/专利权人：连科半导体有限公司

申请日：2023-08-23

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN220828713U

主分类号：F16M11/18

分类号：F16M11/18;F16C29/04;F16N1/00;H02K7/06;F16H25/22

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权

摘要：本实用新型公开了一种区熔炉双导轨移动机构，包括腔体，所述腔体顶部固定安装有过渡板，且过渡板顶部两侧的外壁上均布置有X向移动导轨，所述X向移动导轨的上方滑动连接有X向导轨滑块，且X向导轨滑块顶部固定安装有水平设置的夹层固定板，所述夹层固定板顶部两侧的外壁上均布置有Y向直线导轨，且Y向直线导轨的上方滑动连接有Y向导轨滑块，所述Y向导轨滑块的顶部固定安装有提拉框，所述过渡板一侧的外壁上固定安装有X向电动推杆支架，所述提拉框的一侧外壁上固定安装有与X向电动推杆支架相垂直的Y向电动推杆支架。本实用新型采用X向移动导轨和Y向直线导轨作为导向，两层导轨间增加夹层固定板，极大减小了正压作用导致的机构变形。

主权项：1.一种区熔炉双导轨移动机构，包括腔体1，其特征在于，所述腔体1顶部固定安装有过渡板3，且过渡板3顶部两侧的外壁上均布置有X向移动导轨2，所述X向移动导轨2的上方滑动连接有X向导轨滑块5，且X向导轨滑块5顶部固定安装有水平设置的夹层固定板6，所述夹层固定板6顶部两侧的外壁上均布置有Y向直线导轨7，且Y向直线导轨7的上方滑动连接有Y向导轨滑块8，所述Y向导轨滑块8的顶部固定安装有提拉框9，所述过渡板3一侧的外壁上固定安装有X向电动推杆支架18，所述提拉框9的一侧外壁上固定安装有与X向电动推杆支架18相垂直的Y向电动推杆支架21，所述X向电动推杆支架18和Y向电动推杆支架21的内部均设置有驱动机构，所述提拉框9和夹层固定板6的一侧外壁上均固定设置有直线位移传感器一24，所述提拉框9上方端面的对角处均设置有直线位移传感器二25。

全文数据：

权利要求：

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