申请/专利权人：江苏志文半导体科技有限公司

申请日：2023-09-28

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN220830443U

主分类号：H03H7/38

分类号：H03H7/38;H02H9/02;H05K7/20

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权

摘要：本实用新型涉及一种RFGenerator阻抗匹配装置，包括壳体，所述壳体内设置有旋钮数值调节器，所述旋钮数值调节器还配套设置有阻抗调节电路，所述阻抗调节电路中设置有三组可调电容，每组可调电容都设置有两个可调电容，每对可调电容之间相互并联，并且三组可调电容之间相互串联。

主权项：1.一种RFGenerator阻抗匹配装置，其特征在于：包括壳体，所述壳体内设置有旋钮数值调节器，所述旋钮数值调节器还配套设置有阻抗调节电路，所述阻抗调节电路中设置有三组可调电容，每组可调电容都设置有两个可调电容，每对可调电容之间相互并联，并且三组可调电容之间相互串联。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏志文半导体科技有限公司 一种RF Generator阻抗匹配装置

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