申请/专利权人：天水华天科技股份有限公司

申请日：2024-01-03

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117894740A

主分类号：H01L21/687

分类号：H01L21/687;F16B19/02

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.03#实质审查的生效;2024.04.16#公开

摘要：本发明公开了一种上芯机晶圆防反销钉及其使用方法，属于上芯机硬件设计制造技术领域，本晶圆防反销钉包括销钉本体和平头螺钉，由于销钉本体和平头螺钉之间采用螺栓拧紧的方式，使得晶圆防反销钉不易产生松动，定位变得可靠；同时，销钉本体采用圆柱结构和圆锥结构相连的结构，使用时，由于销钉本体的下部设置为圆锥结构，在与绷膜环、扩片器配合时，具有更好的导向性，有利工作状态时的配合，提高了工作效率；本防反销钉在设计角度上从源头彻底解决定位不准的问题，防止因定位不准造成绷膜环变形、扩片器损坏，提高了设备运行效率，提升了产品良率，具有良好的推广应用价值。

主权项：1.一种上芯机晶圆防反销钉，其特征在于，包括销钉本体1；所述销钉本体1包括位于上部的圆柱结构1-1以及位于下部的圆锥结构1-2；所述圆锥结构1-2的尖端向下；所述圆锥结构1-2的尖端直径小于扩片器4的定位孔直径，使用时，所述圆锥结构1-2的尖端插设于所述扩片器4的定位孔中；所述圆柱结构1-1的顶端开设有沉头孔；所述沉头孔配合设置有平头螺钉2。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 天水华天科技股份有限公司 一种上芯机晶圆防反销钉及其使用方法

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