申请/专利权人：河北大学

申请日：2024-03-15

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117894882A

主分类号：H01L31/18

分类号：H01L31/18;H01L21/67

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.03#实质审查的生效;2024.04.16#公开

摘要：本发明提供了一种用于硒化锑太阳电池异质结的光退火装置及方法。所述装置包括一个真空腔体，在真空腔体内设有一个样品台，所述样品台设有监测温度的温度计；所述真空腔体两侧设有真空抽气口和进气管路，进气管路配备充气阀；在真空腔体上方设有光源组件。本发明中光退火装置应用于Sb2Se3CdS异质结上，通过真空腔体上方的光源组件在氩气氛围下进行光退火处理，然后再制备窗口层、顶电极。通过异质结光退火处理，减少了异质结界面的界面缺陷密度和体缺陷密度，促进了光生载流子的传输、收集，使太阳电池在长波段600nm‑1100nm内的外量子效率大幅提高，提升了短路电流，进而提升了硒化锑薄膜太阳电池的光电转换效率。

主权项：1.一种用于硒化锑太阳电池异质结的光退火装置，其特征是，包括真空腔体，在所述真空腔体内设有样品台以及用于监测样品台温度的温度计，所述样品台用于承载样品，所述样品为硒化锑太阳电池异质结；在所述真空腔体两侧设有真空抽气口和进气管路，通过真空抽气口和进气管路可向真空腔体内通入氩气；在所述真空腔体上方设有光源组件，所述光源组件与真空腔体内的样品台正对，所述光源组件用于照射样品以在氩气环境下对硒化锑太阳电池异质结进行光退火。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 河北大学 一种用于硒化锑太阳电池异质结的光退火装置及方法

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