申请/专利权人：通威太阳能(金堂)有限公司

申请日：2022-10-13

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN115528144B

主分类号：H01L31/20

分类号：H01L31/20;H01L31/0224;C23C14/22;C23C16/24;C23C16/50;C23C28/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权;2023.01.13#实质审查的生效;2022.12.27#公开

摘要：本申请提供一种太阳电池及其制备方法，属于太阳电池技术领域。太阳电池的制备方法包括采用物理气相沉积法在非晶硅层表面依次沉积形成第一透明导电层、第二透明导电层和第三透明导电层。其中，第一透明导电层由旧靶材沉积形成。旧靶材为至少使用至40％寿命的靶材。本申请的太阳电池的制备方法采用旧靶材沉积形成第一透明导电层，相较于新靶材，旧靶材在对非晶硅离子进行轰击时的力度合适，对非晶硅层的损伤较小，使得制得的太阳电池的光电转换效率均保持较高的水平。

主权项：1.一种太阳电池的制备方法，其特征在于，所述太阳电池的制备方法包括：采用物理气相沉积法在非晶硅层表面依次沉积形成第一透明导电层、第二透明导电层和第三透明导电层；其中，所述第一透明导电层由旧靶材沉积形成；所述旧靶材为至少使用至40%寿命的靶材。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 通威太阳能(金堂)有限公司 一种太阳电池及其制备方法

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