申请/专利权人:科迪华公司
申请日:2022-08-01
公开(公告)日:2024-04-16
公开(公告)号:CN117897802A
主分类号:H01L21/677
分类号:H01L21/677;H10K71/13;C23C14/56
优先权:["20210810 US 63/260,111"]
专利状态码:在审-公开
法律状态:2024.04.16#公开
摘要:本文描述了一种基材准备室。所述基材准备室包括封闭件,设置于所述封闭件内的可旋转基材支撑件,以及与所述封闭件连接的气氛置换系统。所述基材准备室能与喷墨打印系统一同使用,其中所述基材准备室与打印封闭件连接,使得门可操作以使所述基材准备室的封闭件置于与所述打印封闭件流体连通。
主权项:1.一种基材准备室,其包括:封闭件;可旋转基材支撑件,其具有设置在所述封闭件内的两个基材位置;以及气氛置换系统,其与所述封闭件连接。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 科迪华公司 具有基材定位特征的基材准备室
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