申请/专利权人：中国石油化工股份有限公司;中石化安全工程研究院有限公司

申请日：2022-10-08

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117890666A

主分类号：G01R21/00

分类号：G01R21/00;G01J1/42;H05H1/24

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.16#公开

摘要：本发明提供一种低温等离子体能量的测量方法、装置、系统及存储介质，属于等离子体测量领域。测量方法包括：获取低温等离子体在起始电压与第一工作电压作用下的指定波长的发射光强度变化值；从预先配置的低温等离子体的发射光强度变化值和放电功率变化值之间的关联关系中，匹配对应于所获取的发射光强度变化值的放电功率变化值；以及根据低温等离子体的对应于起始电压的起始放电功率和所匹配出的放电功率变化值，确定低温等离子体的第一工作放电功率。本发明能够在等离子体发生设备实时运行的情况下，通过非接触式的光学手段，实时快速测量用于表征低温等离子体能量状态的放电功率。

主权项：1.一种低温等离子体能量的测量方法，其特征在于，所述测量方法包括：获取低温等离子体在起始电压与第一工作电压作用下的指定波长的发射光强度变化值；从预先配置的所述低温等离子体的发射光强度变化值和放电功率变化值之间的关联关系中，匹配对应于所获取的发射光强度变化值的放电功率变化值，其中所述低温等离子体的放电功率被配置用于表征所述低温等离子体的能量状态；以及根据所述低温等离子体的对应于所述起始电压的起始放电功率和所匹配出的放电功率变化值，确定所述低温等离子体的第一工作放电功率。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国石油化工股份有限公司;中石化安全工程研究院有限公司 低温等离子体能量的测量方法、装置、系统及存储介质

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