申请/专利权人：佳能株式会社

申请日：2023-10-10

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117891041A

主分类号：G02B7/185

分类号：G02B7/185;G03B21/14;G03B21/28;G03F7/20

优先权：["20221014 JP 2022-165717"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.16#公开

摘要：本发明涉及变形装置、曝光装置以及物品制造方法，提供有利于减少使物体变形时的该物体破损的技术。使物体变形的变形装置具备：分别与上述物体的多个部位连接的多个可动部；分别驱动上述多个可动部而使之位移的多个驱动部；控制上述多个驱动部的控制部；以及以机械方式限制上述多个可动部中的相互相邻的可动部彼此的相对位置偏差以便上述多个部位中的相互相邻的部位彼此的位移差处于容许范围内的限制机构。

主权项：1.一种变形装置，用于使物体变形，其特征在于，上述变形装置具备：多个可动部，该多个可动部分别与上述物体的多个部位连接；多个驱动部，该多个驱动部分别驱动上述多个可动部而使之位移；控制部，该控制部控制上述多个驱动部；以及限制机构，该限制机构限制上述多个可动部中的相互相邻的可动部彼此的相对位置偏差，以便上述多个部位中的相互相邻的部位彼此的位移差处于容许范围内。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 佳能株式会社 变形装置、曝光装置以及物品制造方法

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