申请/专利权人：南京科利德光电材料有限公司

申请日：2023-07-03

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN116819886B

主分类号：G03F1/72

分类号：G03F1/72;G03F7/20

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2023.10.24#实质审查的生效;2023.09.29#公开

摘要：本发明实施例提供一种光罩黑缺陷修补方法，包括：确定待修补光罩上完整包含黑缺陷的待修补区域以及待修补区域在待修补光罩中的位置坐标；根据位置坐标在待修补光罩的原始设计图形中截取出与待修补区域相对应的局部参照图形，将局部参照图形转化为光刻机可识别的可用图形后导入光刻机；将待修补光罩依次进行清洗和涂光刻胶处理后放入光刻机；控制光刻机根据预先输入的位置坐标确定待修补光罩上的待修补区域，并依据可用图形对待修补区域进行定点局部曝光；以及对完成定点局部曝光的待修补光罩依次进行显影、蚀刻、脱模和清洗，即获得修补完成的光罩成品。本实施例能提高光罩缺陷修补的通用性。

主权项：1.一种光罩黑缺陷修补方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：确定待修补光罩上完整包含黑缺陷的待修补区域以及所述待修补区域在所述待修补光罩中的位置坐标，所述位置坐标为所述待修补区域的中心点坐标，所述待修补区域是比所述黑缺陷大的规则形状区域；根据所述位置坐标在所述待修补光罩的原始设计图形中截取出与所述待修补区域相对应的局部参照图形，将所述局部参照图形转化为光刻机可识别的可用图形后导入光刻机；将所述待修补光罩依次进行清洗和涂光刻胶处理后放入所述光刻机；控制所述光刻机根据预先输入的所述位置坐标确定所述待修补光罩上的所述待修补区域，并依据所述可用图形对所述待修补区域进行定点局部曝光；以及对完成定点局部曝光的所述待修补光罩依次进行显影、蚀刻、脱模和清洗，即获得修补完成的光罩成品。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南京科利德光电材料有限公司 光罩黑缺陷修补方法

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