申请/专利权人：北京特思迪半导体设备有限公司

申请日：2024-01-29

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117644471B

主分类号：B24B55/00

分类号：B24B55/00;B24B47/12;B24B29/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2024.03.22#实质审查的生效;2024.03.05#公开

摘要：本申请提供一种偏心驱动机构的偏心距精确调节方法，通过获取连接板的实际长度偏差、第一连接板和第二连接板之间的实际角度偏差，并至少利用实际长度偏差、第一连接板和第二连接板之间的实际角度偏差，精确计算所述偏心距的实际距离偏差，由此确定给定参数下的偏心驱动机构的调节精度是否满足生产相关要求，对于偏心距偏差过大的情况，通过调整连接板的实际长度偏差的影响因素和两连接板之间的实际角度偏差的至少一个，以缩小偏心距偏差，直至该偏差小于偏差阈值，由此可以提高偏心驱动机构的调节精度，进而提高抛光机的加工精度。

主权项：1.一种偏心驱动机构的偏心距精确调节方法，其特征在于，所述偏心驱动机构包括旋转套、第一转轴、第二转轴、第三转轴、第一驱动轮、第一连接板、第二连接板、第二驱动轮和第三驱动轮；所述旋转套用于连接在外部受驱件上；所述第一转轴的一端伸入所述旋转套内并与所述旋转套偏心设置，所述第一转轴的伸入所述旋转套内的一端设有第一驱动轮，所述第一转轴的另一端用于连接旋转驱动件；所述第二转轴和第三转轴分别与所述第一转轴平行间隔设置，所述第二转轴与所述第一转轴之间通过第一连接板可转动地连接，所述第三转轴与所述第二转轴之间通过第二连接板可转动地连接，所述第二转轴上设有第二驱动轮，所述第二驱动轮与所述第一驱动轮传动连接，所述第三转轴上设有第三驱动轮，所述第三驱动轮与所述第二驱动轮传动连接，并且所述第三驱动轮还与所述旋转套的内壁传动连接；所述旋转套的中心线与所述第一转轴的轴线之间的距离为偏心距，所述第一连接板和第二连接板之间的理论夹角为，所述第一驱动轮、第二驱动轮和第三驱动轮均为齿轮；所述偏心距精确调节方法包括：获取第一连接板、第二连接板的实际长度偏差以及所述第一连接板和所述第二连接板之间的实际角度偏差；利用所述第一连接板、第二连接板的实际长度偏差和所述实际角度偏差,计算所述偏心距的实际距离偏差；判断所述实际距离偏差是否超过偏差阈值；若所述实际距离偏差超过所述偏差阈值，则调整所述第一连接板、第二连接板的实际长度偏差的影响因素和所述实际角度偏差的影响因素中任意一个或多个，以减小所述实际距离偏差。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京特思迪半导体设备有限公司 偏心驱动机构的偏心距精确调节方法

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