申请/专利权人：苏州外延世电子材料有限公司

申请日：2023-09-14

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117286475B

主分类号：C23C16/46

分类号：C23C16/46;C23C16/458

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2024.01.12#实质审查的生效;2023.12.26#公开

摘要：本发明公开了一种延长CVD加热基座寿命的装置及其使用方法，只需通过模具方式对与滚子衬套配合的扩孔套进行浇铸成型获得，使外支撑孔套和扩孔套之间能够进行固定即可，减少对精度铣刀的设备要求；外支撑孔套的尺寸磨损不会对滚子衬套的稳定安装产生影响，进一步延长了加热基座的使用寿命，同时弹片体在顶压弧块的挤压下呈八字型弯曲后将外支撑孔套进行稳固安装，同时顶球的翻转会在顶推杆组、顶杆回弹组的配合下依次使扩孔套和顶固弧板对滚子衬套进行压固，在扩孔套和滚子衬套后续具有松动趋势时，弹片体随着加热基座周边环境温度的上升发生进一步弯曲，进一步提高滚子衬套、扩孔套和外支撑孔套之间在加热基座工作状态下的固定效果。

主权项：1.一种延长CVD加热基座寿命的装置，包括用于配合设置在加热基座上安装孔内的外支撑孔套和扩孔套，扩孔套内配合设置有滚子衬套，其特征在于：所述外支撑孔套上设置有可向两侧延伸弯曲的弹片体，外支撑孔套与滚子衬套之间通过扩孔套进行固定，所述外支撑孔套上环向设置有可升降调节的升降杆并接触延伸至弹片体下方之间，所述扩孔套内孔壁上环向布设有凹槽部，凹槽部内活动设置有顶固弧板，所述弹片体单侧延伸弯曲处设置有顶推杆组并可延伸至扩孔套上；所述升降杆的升降运动使弹片体向两侧延伸弯曲并用于将外支撑孔套固定在安装面上，同时所述弹片体的弯曲侧带动顶推杆组与扩孔套固定连接，所述顶推杆组包括设置在弹片体弯曲侧的顶球，所述外支撑孔套上设有竖孔，顶球上方与侧部分别设置有主复位弹簧顶杆和副复位弹簧，主复位弹簧顶杆滑动贯穿于竖孔，主复位弹簧顶杆底端可拆卸设置有与顶球相接触滑移配合的弧形球，所述扩孔套内侧壁上设有副台阶穿孔，副台阶穿孔内滑动贯穿有副复位弹簧顶杆，副复位弹簧顶杆伸出端能够收纳于副台阶穿孔内，副复位弹簧顶杆内端设置有锁固球，当弹片体弯曲延伸时，顶球会依次推动锁固球和弧形球上移，进而依次使副复位弹簧顶杆与主复位弹簧顶杆插入至副槽孔和主槽孔内进行固定；在所述顶固弧板内侧壁上贯穿设置有可水平活动的顶杆回弹组，所述顶杆回弹组由顶杆和回弹片构成，顶杆滑动贯穿于主槽孔和副槽孔，且回弹片安装在顶杆末端并分别固定于主槽孔和副槽孔端口部；顶推杆组末端会推动顶杆回弹组使顶固弧板和滚子衬套外表面紧密贴合。

全文数据：

权利要求：

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