申请/专利权人：福建毫米电子有限公司

申请日：2023-08-23

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN220788747U

主分类号：C23C14/04

分类号：C23C14/04;C23C14/50;C23C14/35

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权

摘要：本实用新型涉及元器件溅射领域，特别是一种可用于功率元器件多功能溅射阻挡治具，包括底板、第一盖板和遮挡压条，所述底板上开设有用于放置待溅射产品的产品槽，所述产品槽的两侧形成有放置台，所述放置台上开设有多个嵌合凹槽，所述遮挡压条的两侧设置有与嵌合凹槽相适的嵌入部，所述嵌入部置入嵌合凹槽内使遮挡压条可拆卸设置在所述产品槽上且所述遮挡压条位于待溅射产品的上方，所述第一盖板可拆卸设置在所述底板的上方。本实用新型通过嵌合凹槽和嵌合部使遮挡压条可以拆卸设置，提高溅射阻挡治具的灵活性、降低成本。

主权项：1.一种可用于功率元器件多功能溅射阻挡治具，其特征在于：包括底板、第一盖板和遮挡压条，所述底板上开设有用于放置待溅射产品的产品槽，所述产品槽的两侧形成有放置台，所述放置台上开设有多个嵌合凹槽，所述遮挡压条的两侧设置有与嵌合凹槽相适的嵌入部，所述嵌入部置入嵌合凹槽内使遮挡压条可拆卸设置在所述产品槽上且所述遮挡压条位于待溅射产品的上方，所述第一盖板可拆卸设置在所述底板的上方。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 福建毫米电子有限公司 一种可用于功率元器件多功能溅射阻挡治具

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