申请/专利权人：东莞南玻智能装备制造有限公司;中国南玻集团股份有限公司

申请日：2023-09-08

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN220788758U

主分类号：C23C14/35

分类号：C23C14/35

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权

摘要：本实用新型公开了一种磁钢及磁控溅射设备。本实用新型的磁钢包括主体和磁铁组。主体具有设定的长度和宽度，主体设置有容置槽，容置槽沿长度方向延伸，主体由金属制成；磁铁组包括多个磁铁，多个磁铁容置于容置槽内并沿长度方向依次设置；其中，由主体沿长度方向的两端向中间的方向，主体的屏蔽效能降低。磁铁组容置于容置槽中，并且主体的屏蔽效能由主体长度方向的两端向中间的方向降低，使磁钢两端与中间部分的磁场强度得到均衡，即端部的磁钢端部的磁场强度降低，而中间部分的磁场强度提升，从而在磁钢应用于磁控溅射设备时使靶材中间部分和端部的消耗速率也得到均衡，从而提升靶材的利用率。

主权项：1.一种磁钢，其特征在于，包括：主体，具有设定的长度和宽度，所述主体设置有容置槽，所述容置槽沿长度方向延伸，所述主体由金属制成；磁铁组，包括多个磁铁，多个所述磁铁容置于所述容置槽内并沿长度方向依次设置；其中，由所述主体沿长度方向的两端向中间的方向，所述主体对所述磁铁组产生磁场的屏蔽效果降低。

全文数据：

权利要求：

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