申请/专利权人：中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司

申请日：2023-09-06

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN220795140U

主分类号：G01N30/20

分类号：G01N30/20;G01N30/68

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权

摘要：本实用新型涉及一种用于高纯二氯氢硅中痕量杂质检测的分析装置，本装置包括气动阀、进样系统、色谱柱、放空针阀、载气系统和检测器，气动阀包括两个十通气动阀、一个六通气动阀和两个四通气动阀，进样系统包括样品进口、样品出口和三个定量环，色谱柱包括五个色谱柱，放空针阀包括四个放空针阀，载气系统包括六个载气支管，检测器包括第一氦离子化检测器和第二氦离子化检测器。本实用新型利用中心切割放空技术实现一次进样，完成对高纯二氯氢硅中痕量杂质H2、O2+Ar、N2、CH4、CO、CO2、SiHCl3和SiCl4的全组分分析。

主权项：1.一种用于高纯二氯氢硅中痕量杂质检测的分析装置，其特征在于，包括气动阀、进样系统、色谱柱、放空针阀、载气系统和检测器；所述气动阀包括：第一气动阀7、第二气动阀13、第三气动阀21、第四气动阀17和第五气动阀26，所述第一气动阀7和第二气动阀13为十通阀，第三气动阀21为六通阀，第四气动阀17和第五气动阀26为四通阀，第一气动阀7与第二气动阀13管路连接，第二气动阀13与第三气动阀21管路连接；所述进样系统包括：与第三气动阀21连通的样品进口20、设置在第三气动阀21上连通的第一定量环19、设置在第一气动阀7上连通的第二定量环1、设置在第二气动阀13上连通的第三定量环8和与第二气动阀13连通的样品出口9；所述色谱柱包括：设置在第一气动阀7连通管路上的第一色谱柱2、设置在第一气动阀7和第四气动阀17连通管路上的第二色谱柱5、设置在第二气动阀13连通管路上的第三色谱柱10、设置在第二气动阀13和第四气动阀17连通管路上的第四色谱柱15和设置在第三气动阀21和第五气动阀26连通管路上的第五色谱柱23；所述放空针阀包括：设置在第一气动阀7上连通的第一放空针阀3、设置在第二气动阀13上连通的第二放空针阀11、设置在第四气动阀17上连通的第三放空针阀18和设置在第五气动阀26上连通的第四放空针阀24；所述载气系统：包括与第一气动阀7连通的第一载气支管4和第二载气支管6，与第二气动阀13连通的第三载气支管12和第四载气支管14，与第三气动阀21连通的第五载气支管22，与第五气动阀26连通的第六载气支管25；所述检测器：包括与第四气动阀17连通的第一氦离子化检测器16和与第五气动阀26连通的第二氦离子化检测器27。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司 一种用于高纯二氯氢硅中痕量杂质检测的分析装置

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