申请/专利权人：合肥照阳光能科技有限公司

申请日：2023-07-03

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN220788777U

主分类号：C23C16/455

分类号：C23C16/455

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权

摘要：本实用新型属于太阳能电池防护层制备技术领域，具体为一种钙钛矿电池氧化硅防水层制备装置，包括工作台，样品反应系统，数据采集分析系统，前驱体源输送系统，真空系统，吹扫系统、混气系统，所述样品反应系统中内部环境为真空状态，包括反应腔、进气口、出气口及匀气罐、输气管道、多个不同前驱体源瓶、电磁阀和多个不同前驱体源瓶，所述匀气罐的外侧固定安装有加热套二，所述匀气罐的内侧设置有真空计。本装置根据钙钛矿太阳能电池其钙钛矿层遇水、氧易分解的特性，以制备高质量的防护层为目的所设计，可在室温、常温、及高温下制备高质量的钛矿太阳能电池防护层，且在材料沉积完毕后，可实现原位高温退火。

主权项：1.一种钙钛矿电池氧化硅防水层制备装置，包括工作台，样品反应系统，数据采集分析系统，前驱体源输送系统，真空系统，吹扫系统、混气系统，所述样品反应系统中内部环境为真空状态，包括反应腔、进气口5、出气口及匀气罐10、输气管道8、多个不同前驱体源瓶14、电磁阀9和多个不同前驱体源瓶14，所述匀气罐10的外侧固定安装有加热套二19，所述匀气罐10的内侧设置有真空计20，所述匀气罐10的外侧连接有压力计11，所述压力计11的外侧连接有真空泵12，所述前驱体源瓶14外部固定安装有加热套一13，前驱体源瓶14的上方设置有手动阀15，所述前驱体源瓶14和手动阀15通过输气管道8依次连接构成回路，输气管道8与反应腔连通，所述多个不同前驱体源瓶14之间通过电磁阀9与匀气罐10联通，前驱体气流与水或臭氧在匀气罐10中进行混合，而匀气罐10的出风口处使用电磁阀9与样品反应腔相连接，所述反应腔内设置有进气口5，进气口5的下方设置有样品反应台6，样品反应台6依靠弹簧支撑板7支撑在地面上，所述样品反应台6的两侧设置有加热丝3，所述反应腔的外侧设置有反应腔门4；所述吹扫系统包括臭氧发生器16和高压氮气容量瓶17，所述匀气罐10的外侧连通有高压氮气容量瓶17，所述高压氮气容量瓶17内侧设置有臭氧发生器16。

全文数据：

权利要求：

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