申请/专利权人：河南卓金光电科技股份有限公司

申请日：2023-09-15

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN220788759U

主分类号：C23C14/35

分类号：C23C14/35

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权

摘要：本实用新型公开了一种立式磁控溅射镀膜悬浮式阴极上端头，包括阴极上端头底座，所述阴极上端头底座下端面环形设置有若干个上端头陶瓷轴承内轴，所述上端头陶瓷轴承内轴上安装有上端头陶瓷轴承，所述阴极上端头底座下侧对应设置磁控溅射源阴极靶，所述磁控溅射源阴极靶上端设置有阴极靶上端口密封盖板。本实用新型磁控溅射阴极系统通过悬浮式阴极上端头使阴极溅射源绝缘等级得到很大提高，有效避免了磁控溅射阴极上下端头同心度出现偏差时导致的旋转电机温度升高、阴极靶上端头易渗水漏气等问题，彻底解决了传统阴极上端头出现上述问题时易放电打火而影响镀膜产品质量的技术难题。

主权项：1.一种立式磁控溅射镀膜悬浮式阴极上端头，其特征在于：包括阴极上端头底座1，所述阴极上端头底座1下端面环形设置有若干个上端头陶瓷轴承内轴2，所述上端头陶瓷轴承内轴2上安装有上端头陶瓷轴承3，所述阴极上端头底座1下侧对应设置磁控溅射源阴极靶10，所述磁控溅射源阴极靶10上端设置有阴极靶上端口密封盖板12，所述磁控溅射源阴极靶10下端设置有下端头阴极靶座11，所述下端头阴极靶座11底部设置有阴极下端头9，所述磁控溅射源阴极靶10与所述阴极靶上端口密封盖板12、所述下端头阴极靶座11与所述阴极下端头9之间均通过双半圆卡扣8进行锁紧，所述阴极靶上端口密封盖板12上端轴心位置安装有盖板陶瓷轴承内轴5，所述盖板陶瓷轴承内轴5上设置有盖板陶瓷轴承6，所述盖板陶瓷轴承6设置在环形设置的所述上端头陶瓷轴承3内侧，且所述盖板陶瓷轴承内轴5和所述上端头陶瓷轴承3之间设置有缝隙；所述阴极上端头底座1截面呈L型结构，且所述阴极上端头底座1的侧板上设置有上端头安装定位孔4，所述阴极上端头底座1的外侧面位于所述上端头安装定位孔4上侧设置有上端头安装定位栓7。

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