申请/专利权人：西安工业大学

申请日：2024-02-05

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN117912922A

主分类号：H01J37/30

分类号：H01J37/30;H01J37/04;H01J37/16;B24B1/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.07#实质审查的生效;2024.04.19#公开

摘要：本发明属于等离子体技术领域，具体涉及一种无栅聚焦束离子源，包括底板、底板上的筒状外壳、筒状外壳中间设置的阳极、上磁靴和下磁靴，所述筒状外壳为中空的水冷外壳，所述阳极和上磁靴均为异形圆环，中间穿设置有异形中心磁靴，中心磁靴的下部设置有工作气体导入装置，阳极的下方设置有环状的水冷装置，水冷装置外周设置有圆环形的永磁铁，永磁铁的下方、外壳内设置有起支撑和导磁作用的下磁靴，水冷外壳、工作气体导入装置和水冷装置的下部经下磁靴穿出底板，所述阳极上方设置有上磁靴。本发明能长期稳定工作，有效提升工作气体利用率和离子束引出均匀性，同时结构简单，适用广泛。

主权项：1.一种无栅聚焦束离子源，包括底板、底板上的筒状外壳、筒状外壳中间设置的阳极（1）、上磁靴（7）和下磁靴（4），其特征在于：所述筒状外壳为中空的水冷外壳（5），所述阳极（1）和上磁靴（7）均为异形圆环，中间穿设有异形的中心磁靴（9），中心磁靴（9）的下部设置有工作气体导入装置（6），阳极（1）的下方设置有环状的水冷装置（2），水冷装置（2）外周设置有圆环形的永磁铁（3），永磁铁（3）的下方、外壳（5）内设置有起支撑和导磁作用的下磁靴（4），水冷外壳（5）、工作气体导入装置（6）和水冷装置（2）的下部经下磁靴（4）穿出底板，所述阳极（1）上方同心设置有上磁靴（7）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 西安工业大学 一种无栅聚焦束离子源

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