申请/专利权人：深圳市龙图光罩股份有限公司

申请日：2024-02-01

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN117663990B

主分类号：G01B11/00

分类号：G01B11/00;G01N21/95;G01B11/02;G01B11/06;G01B11/16;G01B11/28;G03F1/44;B29C65/78

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.19#授权;2024.03.26#实质审查的生效;2024.03.08#公开

摘要：本发明公开了一种掩膜版与薄膜贴合度检测方法、装置、设备以及存储介质，属于掩膜版技术领域。本发明通过将薄膜与掩膜版贴合后固定于所述定位转台，所述掩膜版与所述定位转台几何中心对齐；根据预设方向和速度转动所述定位转台并接收所述信号发射器发射的检测信号得到信号遮挡区数据，所述检测信号平行穿过所述薄膜与所述掩膜版之间的贴合面，并在所述信号接收器中形成信号遮挡区；基于预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测所述掩膜版与薄膜的贴合度，通过这种检测信号覆盖贴合面的所有边和角的方式检测Pellcile薄膜与掩膜版之间的贴合度，从而提高了检测的准确度和效率。

主权项：1.一种掩膜版与薄膜贴合度检测方法，其特征在于，所述方法应用于掩膜版与薄膜贴合度检测装置，所述装置包括信号发射器和信号接收器以及定位转台，所述方法包括以下步骤：将薄膜与掩膜版贴合后固定于所述定位转台，所述掩膜版与所述定位转台几何中心对齐；根据预设方向和速度转动所述定位转台并接收所述信号发射器发射的检测信号得到信号遮挡区数据，所述检测信号平行穿过所述薄膜与所述掩膜版之间的贴合面，并在所述信号接收器中形成信号遮挡区；基于预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测所述掩膜版与薄膜的贴合度；所述根据预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测掩膜版与薄膜贴合度的步骤之前还包括：将所述定位转台固定在第一预设角度并接收所述信号发射器发射的检测信号得到所述信号遮挡区的信号分布数据；所述信号遮挡区数据包括信号遮挡宽度、信号遮挡高度、信号遮挡面积以及信号强度中的至少一种；所述掩膜版与薄膜的贴合度包括边角贴合度，所述贴合度模板包括旋转角—遮挡度模板，所述基于预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测所述掩膜版与薄膜的贴合度的步骤包括：基于所述信号遮挡区数据构建旋转角—遮挡度对应关系曲线；判断所述旋转角—遮挡度对应关系曲线与所述旋转角—遮挡度模板之间的误差是否满足第一预设条件；若满足第一预设条件，则判定所述掩膜版与所述薄膜边角贴合度达标；若不满足第一预设条件，则获取并返回边角贴合不佳点数据；所述掩膜版与薄膜的贴合度还包括侧边贴合度，所述贴合度模板还包括旋转角信号强度标准模板，所述基于预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测所述掩膜版与薄膜的贴合度的步骤还包括：基于所述信号分布数据构建所述第一预设角度下的信号强度分布曲线；判断所述第一预设角度下的信号强度分布曲线与所述旋转角信号强度标准模板之间的误差是否满足第二预设条件；若满足第二预设条件，则判定所述掩膜版与所述薄膜侧边贴合度达标；若不满足第二预设条件，则获取并返回侧边贴合不佳点数据。

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权利要求：

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