申请/专利权人:淮安澳洋顺昌光电技术有限公司
申请日:2022-11-14
公开(公告)日:2024-04-19
公开(公告)号:CN115911199B
主分类号:H01L33/06
分类号:H01L33/06;H01L33/14;H01L33/32
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.19#授权;2023.04.21#实质审查的生效;2023.04.04#公开
摘要:本发明涉及半导体器件技术领域,尤其是涉及一种发光二极管外延结构及发光二极管。发光二极管外延结构,包括:衬底,以及顺次设置于所述衬底上的N型半导体层、有源层和P型半导体层;有源层包括交替层叠设置的量子阱层和量子垒层,至少一个所述量子垒层为复合结构层;复合结构层包括一个或多个复合结构子层;复合结构子层包括层叠设置的未掺杂的氮化镓层、掺杂硼的氮化镓层和P型掺杂的氮化铝镓层。本发明的有源层中的量子垒层使用GaNB‑GaNP‑AlGaN超晶格方式,可以抑制电子溢流,并减小量子垒层与电子阻挡层之间的晶格失配度;同时,可以有效提升空穴的注入质量,进一步改善电子空穴的辐射复合效率,提升LED的发光效率。
主权项:1.发光二极管外延结构,其特征在于,包括:衬底,以及顺次设置于所述衬底上的N型半导体层、有源层和P型半导体层;所述有源层包括交替层叠设置的量子阱层和量子垒层,其中至少一个所述量子垒层为复合结构层;所述复合结构层包括一个或多个复合结构子层;所述复合结构子层包括层叠设置的未掺杂的氮化镓层、掺杂硼的氮化镓层和P型掺杂的氮化铝镓层;所述掺杂硼的氮化镓层中,硼的含量以摩尔比值计为0.05~0.5;定义从所述N型半导体层到所述P型半导体层的方向为第一方向;单个所述复合结构层中,所述掺杂硼的氮化镓层中的硼含量沿所述第一方向上逐渐增加。
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