申请/专利权人:瑞声声学科技(深圳)有限公司
申请日:2023-12-14
公开(公告)日:2024-04-26
公开(公告)号:CN117936530A
主分类号:H01L25/16
分类号:H01L25/16;H01L23/552;H01L23/31;H01L21/56;H01L21/60;H01L21/782;H04B1/40
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开
摘要:本发明提供了一种射频模组制备方法及射频模组,方法包括:提供初始芯片板,初始芯片板包括基板和固定于基板的多个射频模组,射频模组包括多个元器件;在初始芯片板具有射频模组一侧的表面覆盖一层干膜,干膜、元器件与基板之间形成空腔;在干膜表面形成第一金属层,在第一金属层上形成塑封层;在塑封层表面形成第二金属层,第二金属层与第一金属层电连接;沿相邻的射频模组之间的分界线切割初始芯片板,得到单个射频模组。本发明的射频模组制备方法,可以有效降低射频模组可靠性短路的风险,使射频模组的电磁屏蔽效果更明显,提高了电磁屏蔽处理后的单个射频模组的生产效率。
主权项:1.一种射频模组制备方法,其特征在于,包括:提供初始芯片板,所述初始芯片板包括基板和固定于所述基板的多个射频模组,所述射频模组包括多个元器件;在所述初始芯片板具有所述射频模组一侧的表面覆盖一层干膜,所述干膜、所述元器件与所述基板之间形成空腔;在所述干膜表面形成第一金属层,在所述第一金属层上形成塑封层;在所述塑封层表面形成第二金属层,所述第二金属层与所述第一金属层电连接;沿相邻的所述射频模组之间的分界线切割所述初始芯片板,得到单个所述射频模组。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 瑞声声学科技(深圳)有限公司 一种射频模组制备方法及射频模组
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