申请/专利权人：东莞市凯格精机股份有限公司

申请日：2024-01-26

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117936427A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开

摘要：本发明公开了一种高精度固晶机，其包括晶圆机构、支架机构、摆臂机构、校正机构和检测件，晶圆机构包括承载有晶圆的蓝膜，支架机构用于运输基板，摆臂机构上设有第一吸取件和第二吸取件，校正机构包括用于校正晶圆的第二校正件，第一吸取件吸取蓝膜上的单个晶圆并将其移动至第二校正件上，检测件实时监测第二校正件上的晶圆，并电连接第二校正件、第一吸取件和第二吸取件，第二吸取件吸取第二校正件校正后的晶圆并将其移动至基板上。本发明增设了校正机构和检测件，第一吸取件将晶圆放置到校正机构的第二校正件后，第二校正件能校正晶圆，校正完后的晶圆再置于基板上，确保了若干晶圆在基板上排列整齐，满足高精度固晶的需求。

主权项：1.一种高精度固晶机，其特征在于：包括晶圆机构、支架机构、摆臂机构、校正机构和检测件，所述晶圆机构包括承载有晶圆的蓝膜，所述支架机构用于运输基板，所述摆臂机构上设有第一吸取件和第二吸取件，所述校正机构包括用于校正晶圆的第二校正件，所述第一吸取件吸取所述蓝膜上的单个晶圆并将其移动至所述第二校正件上，所述检测件实时监测所述第二校正件上的晶圆，并电连接所述第二校正件、第一吸取件和第二吸取件，所述第二吸取件吸取所述第二校正件校正后的晶圆并将其移动至所述基板上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东莞市凯格精机股份有限公司 一种高精度固晶机

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