申请/专利权人:河北工程大学
申请日:2019-12-20
公开(公告)日:2024-04-26
公开(公告)号:CN110814351B
主分类号:B22F3/115
分类号:B22F3/115;B33Y30/00;B08B15/02
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.26#授权;2020.03.17#实质审查的生效;2020.02.21#公开
摘要:本发明公开了一种基于CVD技术的3D打印装置,其主要包含:喷头;喷头移动台,其能控制喷头沿三维方向移动,以控制喷头的空间位置;加热组件,设于所述喷头上,以使加工物件或工作平台能提供CVD反应的温度条件,控制沉积金属生长;工作平台;工作平台移动支架;收集罩,收集CVD反应后的尾气和余热;分离提纯系统,对收集罩收集的尾气进行分离提纯,并将有效气体输送至打印喷头;工业反应提纯系统,将分离的尾气中的废气与废料金属反应、精炼、提纯以获得有效气体氢气和气态氟化金属或氯化金属;并输送给混合器;混合器,负责将氢气和气态氟化金属或氯化金属按一定比例混合,作为补充气体输送至打印喷头。
主权项:1.一种基于CVD技术的3D打印装置,其特征在于,其主要包含:喷头5,其内部具有气体缓冲室,能使混合气体由下侧出口稳定流出;喷头移动台2,其能控制喷头沿三维方向移动,以控制喷头5的空间位置;加热组件,设于所述喷头5上,以使加工物件8或工作平台9能提供CVD反应的温度条件,控制沉积金属生长;工作平台9,承载工件;工作平台移动支架10,其可控制工作平台9的空间位置;收集罩6,收集CVD反应后的尾气和余热;分离提纯系统13,对收集罩6收集的CVD反应后的尾气进行分离提纯,并将有效气体输送至打印喷头5进行反应;工业反应提纯系统15,将所述分离提纯系统13分离的尾气中的废气与废料金属反应、精炼、提纯以获得有效气体氢气和气态氟化金属或氯化金属;并输送给混合器16;混合器16,负责将氢气和气态氟化金属或氯化金属按一定比例混合,作为补充气体输送至打印喷头5。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 河北工程大学 一种基于CVD技术的3D打印装置
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