申请/专利权人：烟台大学;清华大学

申请日：2022-05-16

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN115044866B

主分类号：C23C14/06

分类号：C23C14/06;C23C14/16;C23C14/32;C23C14/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权;2022.09.30#实质审查的生效;2022.09.13#公开

摘要：本发明公开了一种多层梯度结构涂层及其制备方法。所述多层梯度结构涂层包括：基底；依次沉积在所述基底表面的Cr打底层、CrN过渡层、CrWN过渡层、WCrZrCN和CrWZrCN的交替复合层。本发明在多层梯度结构涂层中引入了W、Zr、Cr、N和C元素，进一步提高了涂层的硬度、耐磨性、塑韧性和耐高温性能，且使涂层的微观组织更加致密，并使得基体和涂层间保持合理的多层硬度梯度，在合理控制内应力的同时还提升了基体和涂层的结合强度。

主权项：1.一种多层梯度结构涂层，其特征在于，包括：基底；依次沉积在所述基底表面的Cr打底层、CrN过渡层、CrWN过渡层、WCrZrCN和CrWZrCN的交替复合层；所述Cr打底层的厚度为0.3-0.8μm，所述CrN过渡层的厚度为0.5-2μm，所述CrWN过渡层的厚度为1.8-4μm；所述交替复合层的总厚度为2.5-6μm，单层所述WCrZrCN的厚度为20-25nm，单层所述CrWZrCN的厚度为20-25nm；所述WCrZrCN膜层中Cr的含量小于所述CrWZrCN膜层中Cr的含量。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 烟台大学;清华大学 多层梯度结构涂层及其制备方法

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