申请/专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所

申请日：2023-08-31

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN220856540U

主分类号：H01L21/683

分类号：H01L21/683;H01L21/677;H01L21/687

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权

摘要：本实用新型公开了一种外延设备用机械手负压传导装置，包括：进气组件、钢管组件、衬套和进气套筒；进气组件由钢管组件底部竖直插入钢管组件内，两者进行间隙配合，进气组件与钢管组件之间设有衬套，以实现进气组件与钢管组件定位；进气组件与真空手指相连，并跟随真空手指自由回转，钢管组件与负压装置相连，以实现负压传递；进气套筒密封设置在钢管组件顶部，进气组件和衬套均位于进气套筒内侧，进气套筒用于防止粉尘进入机械手负压传导装置内。本实用新型具有结构简单、装调方便、成本低廉且能够满足腔体密封以及机械手运动需求等优点，解决了现有外延设备真空机械手在采取上方吸附取片方式时负压装置与真空机械手指之间的连接传导问题。

主权项：1.一种外延设备用机械手负压传导装置，其特征在于，包括：进气组件1、钢管组件2、衬套4和进气套筒5；所述进气组件1由钢管组件2底部竖直插入钢管组件2内，进气组件1与钢管组件2进行间隙配合，进气组件1上部与钢管组件2上部之间设有衬套4，以实现进气组件1与钢管组件2定位；所述进气组件1的出气端与真空手指相连，进气组件1跟随真空手指自由回转，所述钢管组件2的进气端与负压装置相连，以实现负压传递；所述进气套筒5密封设置在钢管组件2顶部，所述进气组件1和衬套4均位于进气套筒5内侧，所述进气套筒5用于防止粉尘进入机械手负压传导装置内。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种外延设备用机械手负压传导装置

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