申请/专利权人：麦斯克电子材料股份有限公司

申请日：2023-09-15

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN220852833U

主分类号：F26B9/06

分类号：F26B9/06;F26B25/08;F26B21/00;F26B21/14;F26B25/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权

摘要：一种用于硅片样块干燥的吹扫箱，涉及到半导体硅片生产领域，包括一个内部具有腔室的封闭箱体，箱体内设有向其内吹扫氮气的吹扫机构，箱体的侧壁开设放样口，腔室内自下而上设有排水板和分布漏水孔的漏水板，排水板的上表面通过排出管与箱体外连通，漏水板和排水板将腔室内从上到下依次分隔形成吹扫腔室、集水腔室和排出腔室，吹扫机构位于吹扫腔室的顶部，放样口位于吹扫腔室中部对应的箱体侧壁，排出管位于排出腔室。本实用新型相较于现有技术手动吹扫硅片样块，有效提高了吹扫效率，同时避免了手捏硅片样块出现玷污和样块滑落的情况，从而提高后期硅片样块检测结果的准确性和保障硅片样块的安全。

主权项：1.一种用于硅片样块干燥的吹扫箱，包括一个内部具有腔室的封闭箱体1，所述箱体1内设有向其内吹扫氮气的吹扫机构2，箱体1的侧壁开设放样口101，其特征在于：所述腔室内自下而上设有排水板4和分布漏水孔301的漏水板3，排水板4的上表面通过排出管5与箱体1外连通，所述漏水板3和排水板4将腔室内从上到下依次分隔为吹扫腔室102、集水腔室103和排出腔室104，所述吹扫机构2位于吹扫腔室102的顶部，放样口101位于吹扫腔室102中部对应的箱体1侧壁，排出管5位于排出腔室104。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 麦斯克电子材料股份有限公司 一种用于硅片样块干燥的吹扫箱

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