申请/专利权人：三星显示有限公司

申请日：2023-10-24

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN117947394A

主分类号：C23C14/50

分类号：C23C14/50;C23C14/04;C23C14/24

优先权：["20221028 KR 10-2022-0140938"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.30#公开

摘要：提供了一种沉积装置。沉积装置包括：支撑单元，该支撑单元支撑具有第一表面和与第一表面相对的第二表面的衬底的第二表面；以及卡盘，该卡盘具有彼此相邻并且分别接收不同的电压的第一图案部分和第二图案部分。衬底具有与卡盘的第一图案部分重叠的第一部和与卡盘的第二图案部分重叠的第二部，并且支撑单元具有支撑第二部的不同部分的第一支撑单元和第二支撑单元。

主权项：1.一种沉积装置，包括：支撑单元，所述支撑单元支撑衬底的第二表面，所述衬底包括第一表面和与所述第一表面相对的所述第二表面；以及卡盘，所述卡盘面向所述衬底的所述第一表面，并且包括彼此相邻并且分别接收不同的电压的第一图案部分和第二图案部分，其中，所述衬底包括与所述卡盘的所述第一图案部分重叠的第一部和与所述卡盘的所述第二图案部分重叠的第二部，并且所述支撑单元包括支撑所述衬底的所述第二部的不同部分的第一支撑单元和第二支撑单元。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 三星显示有限公司 沉积装置

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