申请/专利权人：中国科学院微电子研究所

申请日：2023-12-07

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN117950276A

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.17#实质审查的生效;2024.04.30#公开

摘要：本公开提供了一种基于确定性筛选实验的像差处理方法、电子设备及介质，可以应用于高分辨成像技术领域。该方法包括：将光刻系统的实验显影图案信息和与实验显影图案信息对应的实验像差信息输入关系模型，拟合得到关系模型的I个系数，其中，实验像差信息和实验显影图案信息均是通过对象使用光刻系统进行确定性筛选实验获得的，关系模型是根据像差信息与显影图案信息之间的关联关系构建的，系数用于表征与系数对应的几何像差项对显影图案信息的影响度，I为大于1的正整数；从关系模型的I个系数中确定目标系数；根据I个几何像差项中与目标系数对应的几何像差项，对像差信息进行优化，得到目标像差信息。

主权项：1.一种基于确定性筛选实验的像差处理方法，包括：将光刻系统的实验显影图案信息和与所述实验显影图案信息对应的实验像差信息输入关系模型，拟合得到所述关系模型的I个系数，其中，所述实验像差信息和所述实验显影图案信息均是通过对象使用所述光刻系统进行所述确定性筛选实验获得的，所述关系模型是根据像差信息与显影图案信息之间的关联关系构建的，所述像差信息包括与所述I个系数对应的I个几何像差项，所述系数用于表征与所述系数对应的几何像差项对所述显影图案信息的影响度，I为大于1的正整数；从所述关系模型的I个系数中确定目标系数；根据所述I个几何像差项中与所述目标系数对应的几何像差项，对所述像差信息进行优化，得到目标像差信息。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院微电子研究所 基于确定性筛选实验的像差处理方法、电子设备及介质

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