申请/专利权人：至微半导体(上海)有限公司;上海至纯洁净系统科技股份有限公司

申请日：2024-03-05

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN117948864A

主分类号：G01B5/14

分类号：G01B5/14

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.17#实质审查的生效;2024.04.30#公开

摘要：本发明提供一种晶圆卡盘内齿轮传动间隙检测方法，包括：将角度盘套在晶圆卡盘的卡夹上，所述角度盘上具有套孔以及以该套孔的中心为圆心的弧形刻度，所述套孔的内径与所述卡夹的外径适配；将固定部可拆卸固定至所述卡夹上，所述固定部与指针的尾端连接；沿所述弧形刻度的反方向转动所述指针以带动所述卡夹的内齿轮旋转，直至所述内齿轮无法转动；保持所述指针不动，以所述卡夹为转动中心转动所述角度盘，使所述指针指向所述弧形刻度的零刻度线；沿所述弧形刻度的正方向转动所述指针，直至所述内齿轮无法转动，读取所述指针当前所指的刻度。本发明在装配和使用过程中，可以准确、方便地对内齿轮与主动齿轮之间的传动间隙进行检测。

主权项：1.一种晶圆卡盘内齿轮传动间隙检测方法，其特征在于，包括：将角度盘套在晶圆卡盘的卡夹上，所述角度盘上具有套孔以及以该套孔的中心为圆心的弧形刻度，所述套孔的内径与所述卡夹的外径适配；将固定部可拆卸固定至所述卡夹上，所述固定部与指针的尾端连接；沿所述弧形刻度的反方向转动所述指针以带动所述卡夹的内齿轮旋转，直至所述内齿轮无法转动；保持所述指针不动，以所述卡夹为转动中心转动所述角度盘，使所述指针指向所述弧形刻度的零刻度线；沿所述弧形刻度的正方向转动所述指针，直至所述内齿轮无法转动，读取所述指针当前所指的刻度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 至微半导体(上海)有限公司;上海至纯洁净系统科技股份有限公司 晶圆卡盘内齿轮传动间隙检测方法

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