申请/专利权人：星奇(上海)半导体有限公司

申请日：2023-12-19

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN117948454A

主分类号：F16K27/00

分类号：F16K27/00;F16K49/00;B29C45/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.17#实质审查的生效;2024.04.30#公开

摘要：本申请提供一种PFA阀体、阀门及制造方法，应用于半导体制造中特种阀门制造的技术领域，其中，本申请在PFA阀体内流过高温超纯液体时，通过在PFA阀体的外壁上开设多个凹腔，PFA阀体的外壁和凹腔同时与PFA阀体所处的散热流体直接接触，增加了PFA阀体外与散热流体的接触面积，使阀体表面温度可以进一步散发，以此提高了PFA阀体的散热能力，降低了阀体结构的温度积聚，进而降低对PFA阀体刚性的影响，同时每个所述凹腔的周围设置有至少一个其他所述凹腔，相邻凹腔之间形成的腔壁可以增强PFA阀体的结构强度，降低PFA阀体因连续流通高温超纯液体发生变形的概率，提高PFA阀体的可靠性，而且可以降低高温超纯液体发生泄漏的概率。

主权项：1.一种PFA阀体，其特征在于，所述PFA阀体的内壁用于流通液体；所述PFA阀体的外壁上开设有多个凹腔，每个所述凹腔的周围设置有至少一个其他所述凹腔，多个所述凹腔用于与PFA阀体所处的散热流体进行接触，以增加PFA阀体的外壁与散热流体的接触面积，以及增强PFA阀体的结构强度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 星奇(上海)半导体有限公司 PFA阀体、阀门及制造方法

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