申请/专利权人:应用材料以色列公司
申请日:2021-12-08
公开(公告)日:2024-04-30
公开(公告)号:CN114624272B
主分类号:G01N23/2251
分类号:G01N23/2251;G01N33/00;G01R29/24;H01L21/683
优先权:["20201208 US 17/115,656"]
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.30#授权;2023.11.28#实质审查的生效;2022.06.14#公开
摘要:一种方法、非瞬态计算机可读介质和设备。该方法可包括:a引入在静电吸盘的负极的绝对值与静电吸盘的正极的绝对值之间的电压差,该引入在晶片由静电吸盘支撑并且被静电吸盘的一个或多个导电接触销接触时发生;b在开始电压差的引入之后的不同时间点处,由包括感测元件的静电传感器监测位于晶片的正面的测量点处的电荷,以提供监测结果;以及c基于监测结果来确定晶片与静电吸盘之间的接触的电参数。
主权项:1.一种用于评估晶片与静电吸盘之间的接触的方法,所述方法包括:在所述晶片由所述静电吸盘支撑并且被所述静电吸盘的一个或多个导电接触销接触时,引入在所述静电吸盘的耦接到负电压源的负极的绝对值与所述静电吸盘的耦接到正电压源的正极的绝对值之间的电压差;在开始所述电压差的所述引入之后的不同时间点处,由包括感测元件的静电传感器监测位于所述晶片的正面的测量点处的电荷,以提供监测结果;以及基于所述监测结果来确定所述晶片与所述静电吸盘之间的所述接触的电参数。
全文数据:
权利要求:
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