申请/专利权人：三星显示有限公司

申请日：2023-10-31

公开（公告）日：2024-05-07

公开（公告）号：CN117995664A

主分类号：H01L21/268

分类号：H01L21/268;H01L21/324;H01L21/67;H01L21/02

优先权：["20221102 KR 10-2022-0144422"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.05.07#公开

摘要：一种激光退火方法包括：从多个峰的多个强度中选择参考强度，其中，参考强度用于确定激光退火期间激光照射的脉冲形状；通过将多个峰当中的具有最小峰出现时间的第一峰的相对于参考强度的强度比设定为小于大约百分之100来设定脉冲形状；以及将具有脉冲形状的激光束照射到载物台。

主权项：1.一种激光退火方法，包括：从多个峰的多个强度中选择参考强度，其中，所述参考强度用于确定激光退火期间激光照射的脉冲形状；通过将所述多个峰当中的具有最小峰出现时间的第一峰的相对于所述参考强度的强度比设定为小于百分之100来设定所述脉冲形状；以及将具有所述脉冲形状的激光束照射到载物台，其中，所述脉冲形状进一步包括第二峰、第三峰、第四峰和第五峰，所述第二峰、所述第三峰、所述第四峰和所述第五峰中的每个在所述第一峰的出现之后顺序出现，并且所述第一峰、所述第二峰、所述第四峰和所述第五峰中的每个的强度比使用所述第三峰的高度值作为所述参考强度来设定。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 三星显示有限公司 激光退火方法

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