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申请/专利权人：芝浦机械电子装置株式会社
申请日：2022-08-23
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN115846159B
主分类号：B05D3/02
分类号：B05D3/02;B05D3/04
优先权：["20210927 JP 2021-156921"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.17#授权;2023.04.14#实质审查的生效;2023.03.28#公开
摘要：本发明提供一种可实现维护的容易化的加热处理装置、搬入搬出夹具及加热处理装置的维护方法。实施方式的加热处理装置包括：腔室；匣盒支架，设置于所述腔室的内部，且至少具有一对接收构件；第一加热部，设置于所述一对接收构件的上方，且具有至少一个第一加热器；第二加热部，设置于所述一对接收构件的下方，且具有至少一个第二加热器并且与所述第一加热部相向；以及匣盒，呈箱状且在内部具有用以支撑工件的空间，并且在所述第一加热部与所述第二加热部之间装卸自如地支撑于所述一对接收构件。在所述匣盒的相互相向的一对侧面分别设置有由所述接收构件支撑的匣盒支撑部。
主权项：1.一种加热处理装置，其特征在于，包括：腔室；匣盒支架，设置于所述腔室的内部，且至少具有一对接收构件；第一加热部，设置于所述一对接收构件的上方，且具有至少一个第一加热器；第二加热部，设置于所述一对接收构件的下方，且具有至少一个第二加热器并且与所述第一加热部相向；以及匣盒，呈箱状且在内部具有用以支撑工件的空间，并且在所述第一加热部与所述第二加热部之间装卸自如地支撑于所述一对接收构件，在所述匣盒的相互相向的一对侧面分别设置有由所述接收构件支撑的匣盒支撑部，所述接收构件具有：第一端部，设置于所述第一加热部侧，对所述匣盒的所述匣盒支撑部进行支撑；以及第二端部，设置于所述第二加热部侧，与所述第一端部相向，在沿从所述第一端部朝向所述第二端部的方向观察的情况下，所述第二端部的前端位于比所述第一端部的前端更靠所述匣盒的所述侧面侧处。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 芝浦机械电子装置株式会社 加热处理装置、搬入搬出夹具及加热处理装置的维护方法
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